高精度扫描声学显微镜

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公司名称深圳市顺心科技有限公司
品牌
型号KSIV300E
所在地深圳市
厂商性质其他
更新时间2024/3/12 21:42:29
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公司介绍主营产品

深圳市顺心科技有限公司(简称顺心科技，英文名“IntlFine”：集品质产品服务好每一个客户)，公司成立于2016年，是一家专业提供实验室耗材、实验室分析/测试、品质管控等优质进口检测设备及解决方案提供商。公司拥有经验丰富的检测设备销售人员，同时有多名10年以上工作经验的实验室高级管理人员、高级工程师加盟，不仅能为客户提供高质量的产品，更能为客户提供优质、高效的售前售后解决方案。以专业服务和优良品质，深受广大用户的好评。近年来公司大力加强与半导体、新能源、新材料等专、精、特、新的的深度合作。服务客户有：华为海思、冠宇集团、木林森集团、利亚德集团、光大集团(中麒光电、光钛科技）、贝特瑞集团、中科院深圳*研究院、山西大学等等，我们将继续朝着专业化、精细化、特色化的方向奋斗。

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产品简介在线询价

KSI V300E是一款高产能超声波声学显微镜，可以对塑封集成电路IC、IGBT大功率模组，各型电容、以及铜基板器件进行无损检测，分析器件内部之分层、裂缝、空洞等缺陷。

高精度扫描声学显微镜产品信息

KSI介绍

KSI 品牌是由德国的 Klaus Kraemer 博士所创立，Klaus Kraemer 博士是是欧洲声学显微技术的，从 1984 年开始一直到现在，近 30 年来，不断推进高分辨声学检测技术的创新，为半导体、复合材料、生物医学领域，提供声学检测装备和订制化的技术解决方案。Klaus Kraemer 博士本人则堪称欧洲高分辨声学检测技术历史的活化石。

KSI 公司一直专注于声学显微基础技术的研究与开发，目标是朝更高精度、更高分辨率、更大的产能、设备更加、更加耐用方向发展。这也非常符合德国人作风，专注、专业、一辈子只做好一件事。 2009 年开发的 FCT 低噪探头技术，能极大地压制探头在水中运动扫描时所产生的水花，显著提高声学图像的品质，并使设备能够持续在高速状态下进行工作，而不会由于巨大的水花而导致对测试结果的误判。近年来推出的全新一代 v 系列声学显微系统，灵敏度可以达到 0.3 微米。在噪声控制、弱信号处理技术更上一个新台阶，不需要外置滤波器即可对晶圆级的缺陷进行高分辨检测，既让图像更清晰，又不遗漏微缺陷。这也是 Ksi 公司多年专注于超声基础技术研发的基础上取得的进展。

产品优势

扫描范围适中：300mm x 300mm；
磁悬浮超高速机型；
扫描速度：2米/秒；
扫描加速度：30米/秒；
KSI一台机器相当于常规机器2台的工作量。(常规机器小于1米/秒)；
高扫描重复精度：+/-0.1微米（常规机器只能做到0.5微米）；
低噪防误判探头（常规机器没有，无法在高速扫描时去除水花导致的误判）。

技术指标

一、扫描机械机构

(1) X、Y轴都是由高精度磁悬浮直线电机驱动

(2) X、Y轴一次扫描行程范围：300mm×300mm（上限可以做到305mm x 305mm）

(3) X、Y轴一次最小扫描行程范围：0.2mm×0.2mm

(4) 扫描速率：2000mm/s，扫描加速度30m/s2

(5) X、Y轴扫描重复精度±0.1um

(6) Z轴是高精度自锁步进电机，行程：100mm

(7) Z轴电机重复精度：± 0.25μm

二、扫描模式

(1) 点波形(A-Scan)

(2) 纵剖扫描(B-Scan)

(3) 横剖扫描(C-Scan)

(4) 斜剖扫描（D-Scan）

(5) 等间隔多层横剖扫描(X-Scan)

(6) 自定义多层横剖扫描，可独立设置不同层面的厚度等参数

(7) 透射扫描

(8) 顺序扫描、托盘扫描、高质量扫描、表面跟踪扫描、全息扫描（实体扫描）

(9) 其它

三、脉冲信号收发器和换能器

(1) 扫描工作模式：单通道工作模式

(2) 脉冲信号收发器带宽：5MHz～550MHz

(3) 总增益：150dB

四、主要功能

(1) 测试被测工件内部缺陷，如空洞、分层、裂缝、异物等；

(2) 扫描图像模板功能，轻松获得参数一致的声学显微图像；

五、其它指标

(1) 保存图像格式：JPG、BMP、SAM(sam是原厂图像格式)；

(2) 图像采样像素：32000×32000像素，可以自定义输入图像分辨率或单个像素尺寸，由设备自动计算所用的图像分辨率。

选配组件

序号	名称	部件编号	说明	选配请打v
1	透射扫描模组	TT-kit	含透射接收探头一个、透射样品台、其它透射结构件
2	Jedec样品架	Jedec Tray	Jedec Tray
3	晶圆样品台	Wafer Chunk	Samplestage with wafer chuck
4	真空吸盘样品台	Universal Vacuum sample stage	Universal Vacuum-Sample-Stage, incl： -Vacuum Pump21qm/h -Water Absorber & Cycling System- Tubes & Cables
5	三维超声CT成像软件	KSI 4D software	-Four dimensional sample viewing and analyzing -Free rotatable in all axis -Overview of all layers in extra window
6	高分辨濾波器	HTE	Hilbert Transformation Envelope
7	常规探头	5MHz	conventional probe with different focal length
8	常规探头	15MHz	conventional probe with different focal length
9	常规探头	20MHz	conventional probe with different focal length
10	常规探头	30MHz	conventional probe with different focal length
11	常规探头	40MHz	conventional probe with different focal length
12	常规探头	50MHz	conventional probe with different focal length
13	常规探头	75MHz	conventional probe with different focal length
14	常规探头	100MHz	conventional probe with different focal length
15	常规探头	110MHz	conventional probe with different focal length
16	常规探头	125MHz	conventional probe with different focal length
17	常规探头	150MHz	conventional probe with different focal length
18	常规探头	230MHz	conventional probe with different focal length
19	低噪探头	300MHz	conventional probe with different focal length
20	低噪探头	320MHz	conventional probe with different focal length
21	声学物透探头	200MHz	Acoustic Objective 200MHz, 60 degree angle
22	声学物透探头	400MHz	Acoustic Objective 200MHz, 60 degree angle