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TEM Mill精密离子减薄仪

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  • 公司名称深圳市顺心科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号1051
  • 所  在  地深圳市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2024/3/12 21:57:01
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深圳市顺心科技有限公司(简称顺心科技,英文名“IntlFine”:集品质产品服务好每一个客户),公司成立于2016年,是一家专业提供实验室耗材、实验室分析/测试、品质管控等优质进口检测设备及解决方案提供商。 公司拥有经验丰富的检测设备销售人员,同时有多名10年以上工作经验的实验室高级管理人员、高级工程师加盟,不仅能为客户提供高质量的产品,更能为客户提供优质、高效的售前售后解决方案。以专业服务和优良品质,深受广大用户的好评。 近年来公司大力加强与半导体、新能源、新材料等专、精、特、新的的深度合作。服务客户有:华为海思、冠宇集团、木林森集团、利亚德集团、光大集团(中麒光电、光钛科技)、贝特瑞集团、中科院深圳*研究院、山西大学等等,我们将继续朝着专业化、精细化、特色化的方向奋斗。
离子色谱仪
TEM Mill 作为采用技术制造的精密离子研 磨及抛光系统,提供可靠、高性能的样品制备 能力,能够为透射电镜制备满足电子束穿透的 大面积薄区样品,同时具备紧凑、精确以及高 稳定性的优点。
TEM Mill精密离子减薄仪 产品信息
技术简介

离子减薄技术通常采用惰性气体 氩,通过将氩气离子化后,在电场 加速作用下轰击到样品表面,利用 动量转移的方式进行可控速率条件 下,物理溅射轰击的方式对样品进 行减薄,最终实现样品能够达到透 射电镜所需的电子束穿透厚度。

产品特点
  • 两支独立可调电磁聚焦离子枪 
  • 同时具备高能量(快速抛光)和低能量(精细修复) 

  • 超宽加速电压范围:100eV到10kV,不同加速电压下,离子束束斑均保持最细束斑状态 

  • 每支离子枪均配备对应法拉第杯进行离子束直接探测 

  • 采用可调节10英寸触屏控制系统,人机界面友好,操作简洁 

  • 自动独立气源控制 

  • 减薄角度范围:-15°到 +10°连续可调 

  • 样品载台X-Y可调,可根据需要调整样品减薄位置 

  • 具备原位实时观察及记录减薄过程功能 

  • 样品可360°连续旋转或摇摆,离子束自动避让样 品夹 

  • 可通过时间、温度以及透光性自动停止 

  • 可选液氮冷台配置,去除热效应对样品的损伤 

  • 可选真空或惰性气体转移装置,隔绝样品与水氧接触

探头规格
Model 1051 TEM Mill 技术规格

离子源

两支TrueFocus电磁聚焦离子源

可变能量范围100 eV到10 keV ,束流 

密度可达10 mA/cm2 

减薄角度 −15° 到 +10˚连续可调 

可选择单枪或双枪工作模式 

两支离子枪能量可独立调节 

可选手动或自动马达离子枪 

离子束角度、束斑大小均可调节

样品夹

的装样设计及导热性能

装载设计,能够满足至零度单面/双面 减薄均无阴影 

可选带X-Y调节装样样品夹

样品台

样品尺寸: 3 mm 直径 x 250 µm厚度

360˚ 旋转且转速可调,同时样品台可摇摆 

磁编码器提供定位精度

液氮冷台

可选液氮冷台设计,冷却时间分为3-5小时 和18小时以上两种 

-170℃~室温,具备自动程序化控温设计

自动终止 可根据时间、温度或透光性自动终止减薄
真空系统

80L/s分子泵加多级无油隔膜泵

配有宽量程真空规

真空转移可选真空转移或惰性气体保护下转移升级
气源

99.999%高纯氩气,使用压力 15 psi

配备精确气体质量流量计

人机界面

10英寸触屏设计,可实现配方编程控制

可选远程灯光指示器

电源220/240 VAC, 50/60 Hz, 720 W
尺寸/重量68cm(W)X55cm(H)X 54cm(D),73kg


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