国产高分辨场发射扫描电子显微镜

国产高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000采用的镜筒设计，高压隧道技术（SuperTunnel）、低像差无漏磁物镜设计，实现了低电压高分辨率成像，同时磁性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互，优化的操作和使用流程，无论经验是否丰富，都可以快速上手，完成高分辨率拍摄任务。

电子枪类型           高亮度肖特基场发射电子枪

加速电压             0.1 kV ~ 30 kV

分辨率              1 nm @ 15 kV  2.5 nm @ 1 kV

样品台              五轴全自动样品台

放大倍率             1 ~ 1,000,000 x

产品特点 

分辨率高，低加速电压下实现高分辨成像

高压隧道技术 (SuperTunnel), 在隧道中的电子能保持高能量，减少了空间电荷效应，低电压分辨率得到保证

电子光路无交叉，有效的降低系统像差，提升分辨能力

电磁复合物镜，减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品

水冷恒温物镜，保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性

磁偏转六孔可调光阑，自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换

规格参数

电子光学系统

分辨率             1.0nm @ 15 kV

2.5 nm @ 1 kV

放大倍率            1 x ～ 1,000,000 x

加速电压            0.1 kV ～ 30 kV

电子枪类型          高亮度肖特基场发射电子枪

磁场屏蔽           被动式磁屏蔽

主动式磁屏蔽（选配）

成像系统

探测器             镜筒内高角度电子探测器（Inlens-SE Detector）

侧向二次电子探测器（ET Detector）

扩展               背散射电子探测器（BSE Detector）

能谱仪（EDS）

背散射衍射（EBSD）

电子束感生电流（EBIC）

阴极荧光（CL）

图像保存格式         TIFF、JPG、BMP、PNG

样品室

真空控制方式         全自动控制，无油真空系统

摄像头             双摄像头

( 光学导航 + 样品仓内监控 )

样品台配置           五轴全自动样品台

行程

X: 130 mm

Y: 105 mm

Z: 40 mm（大行程可选配）

R: 360°

T: -10°～ +90°

减震

主副减震支架

双气室隔膜式减震器

主动式减震器（选配）

软件

语言               中文

操作系统            Windows

导航               光学导航、手势快捷导航

自动功能            自动亮度对比度、自动聚焦、自动像

详细的技术方案，欢迎致电或者微信技术交流：；