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直流探针
开尔文探针
开尔文探针规格和应用特点：
l 探针做热补充处理，防止变温实验时探针产生位移离开样品接触点
l 双SSMC接头，同轴Kelvin开尔文设计
l 两组探针可实现四线法连接，进行IV/CV/Pulse IV测量
l 可替换针尖，常用针尖半径有1.5 / 5.0 / 10.0 μm
l 直流小信号测量电流精度<>
l LCR测试<>
l 时序信号完整性测试
l 脉冲激发/测量，脉冲小信号测量时间精度10ns
开尔文同轴探针工作原理示意图：
上图红色方框内为本次所说明的探针夹具，下图为放大后的连线使用
详解图：
开尔文同轴探针与泰克4200A-SCS半导体参数测试仪连接实测的漏电流数据图如下：
射频高阻有源同轴探针
多用途高速无源同轴探针
微波无源同轴探针
波导同轴探针
微波差分同轴探针
微波&直流混合探针卡
微波&射频校准片
探测光纤
探测光纤规格：
真空陶瓷探针
真空陶瓷探针规格和应用特点：
l 探针为陶瓷衬底的同轴设计，分为内层芯体和外层Guard保护层。
l 探针的Guard保护层与探针台内部的同轴电缆线的外层屏蔽线连接，同轴电缆再与探针台外部的三同轴接口连接，实现从探针台外部接口到探针之间电信号的全程Guard保护性传输。
l 配合半导体分析仪或高精度源表测试微小漏电流小于100 fA。
l 探针热沉到样品台，减小探针和样品台的温差。
l 针尖直径有5.0μm / 10.0μm。
l 陶瓷探针与泰克4200A-SCS半导体参数测试仪连接实测的漏电流数据图如下：
