​SGM TF100-12IIII-4Z 管式炉PECVD系统

SGM TF100-12IIII-4Z 管式炉PECVD系统是由SGM TF100-12IIII三温区管式炉、4路质子混气系统、真空系统、射频电源组成。

SGM TF100-12IIII三温区管式炉设计工作温度1200℃，连续使用温度1100℃，具有三个温区，三个温区分别由三个温控系统来控制，都可设置30段升降温程序，每个温区长度为150/300/150mm，总温区长度为600mm，炉管为高纯石英管，炉管尺寸：100 O.D x 2400mm L ，输入电源：208 – 240V AC，单相功率：6.6KW配有一对不锈钢真空密封法兰 内炉膛表面涂有美国进口的1760度高温氧化铝涂层，可以提高设备加热效率及反射率，同时延长仪器的使用寿命。

主要技术参数：

电炉名称：1200度小型三温区管式炉

电炉型号：SGM TF100-12III三温区管式炉

设计工作温度：1200℃

连续使用温度：1100℃

温区数量：三温区（150/300/150mm总温区长度为600mm）

炉管材质：石英管

炉管规格：φ100*2400mm

输入电源：208 – 240V AC，单相功率

温控系统：三个温区分别由三个温控系统控制

采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序

带有超温和断偶保护

控温精度：+/- 1 oC

外型尺寸

炉体：860 mmL × 380 mmW × 680 mmH

炉体下端移动柜：1800×600×600mm

净重：220 Lbs.

运输重量：1200lbs。

*此款设备安装控制模块，将温度设置和温度曲线导入到电脑，配置I5-9400H终端两处，配置I7-10710U终端3处。

质量流量计混气系统

四个精密的质量流量计(精度1.5% ) ：数字显示，自动控制.

MFC 1范围: 0~100 sccm

MFC 2和3: 0~200 sccm

MFC 4范围: 0~500 sccm

一个混气罐，底部装有泄废液口.

4 个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体.

进气口: 4个1/4NPS.

出气口: 4个 1/4NPS.

采用PLC控制流量计，通过触摸屏进行控制

射频电源

输出功率: 5 -500W ± 1% .

射频频率: 13.56 MHz ±0.005% .

反射功率: 200W

匹配: 自动射频接口: 50 Ω, N-type

噪音: <50 dB.

冷却: 风冷.

电源: AC 208-240V, 50/60Hz

防腐型真空计

输入电源 24V，1A DC（配有一电压转换器）

测量范围 3.8x10-5 -1125 Torr.

数据显示 数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr

接头 1/8"NPT 接头

产品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

真空系统

采用TRP-12的双旋真空泵, 极限真空10E-3 Torr

KFD25 快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连.

管内真空可达10E-2 Torr