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石英等离子清洗机NE-Q05

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称深圳纳恩科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地深圳市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2024/4/2 16:35:07
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纳恩科技始创于2010年,总部位于深圳市,在香港设有研发分公司,是一家专注于等离子材料表面清洗处理、真空镀膜技术和智能装备研发,制造和销售的高科技公司。目前主要产品包括真空等离子清洗机,磁控溅射镀膜设备,离子溅射仪,等离子刻蚀设备,等离子表面处理设备,辉光放电仪等。公司核心研发团队来源于香港大学等离子实验室,香港理工大学材料工程学院和美国佐治亚理I学院的微电子学院。自成立以来,纳恩科技围绕等离子处理系统所需核心电源及底层算法进行技术布局,不断拓展自主设计能力。目前已完成以MCU, ARM为核心的射频芯片开发平台,实现了芯芯的结构化和模块化开发。具有高精度模拟、网络阻抗匹配、功率驱动、功率器件、射频和底层核心算法的设计能力,可针对不同细分领域等子处理系统需求,快速做出底层硬件组合,提高等离子系统的稳定性和效率。公司着眼于化的战略布局,目前在北京、上海、 成都,厦门均设立办事处,在新加坡,尼黑设有办公联络处。纳恩科技以前沿的创新理念、的核心技术在我国制造装备行业扮演着关键角色,公司坚持负"推动产业进步、保障国防安全、提升生活品质”这一神圣使命,致力成为的等离子技术处理方案供应商,在世界高科技舞台的同场竞技之中,续写中国等离子产业发展的新传奇!
产品型号:NE-Q05 性能特点:石英玻璃腔体 产品用途:去除表面污染物和氧化物,增强表面活性,改善A膜的附着力
石英等离子清洗机NE-Q05 产品信息
小型石英等离子清洗机结构主要包括控制单元、石英真空腔体、真空泵三部分。等离子清洗的原理是在射频电压激励下,低压气体产生活性等离子体,等离子体通过物理碰撞或化学反应等方式分解多余物,有效地去除材料表面污染物。

小型石英等离子清洗机产品特点:


真空腔体材质采用石英玻璃,不易与材料表面发生反应,污染清洗样品
等离子发生器采用13.56MHz射频发生器,自动阻抗匹配调谐
触摸屏用户界面+PLC控制,可储存多条工艺程序,全自动运行
配备两路气路通道,气体流量可调,无需再搭配气体混合仪


小型石英等离子清洗机产品应用:


等离子清洗机可以在真空状态下形成等离子体,可以对ITO/玻璃基底进行物理轰击和化学反应双重作用,使基底表面物质变成粒子和气态物质,经过抽真空排出,而达到清洗的目的,它可以达到常规清洗方法无法达到的效果,不仅可以去除有机污染物、油污或油脂,还能够改变ITO的功函数,改善材料表面的浸润能力,有利于后续的传输层溶液的涂覆。
半导体行业:键合前对框架/基板进行等离子清洗,去除键合表面的有机沾污。 键合前后增加等离子清洗工序,以提高键合强度和模塑料与框架/基板界面结合强度;
芯片:芯片烧结时会造成基片金属导带引入的沾污或者氧化,可用等离子清洗的方式去除
PDMS表面进行亲水化处理

等离子清洗机适用于各种基材类型,对金属、半导体、氧化物、有机物和大多数高分子材料也能进行很好的处理,并可实现复杂结构的清洗。


等离子发生器 功率 0-200W
频率 13.56MHz
特性阻抗 自动匹配
真空反应腔室 腔体材质 石英玻璃
腔体容积 5L
腔体尺寸 直径150mm×270mm
真空度 1-30Pa
气路控制 气体通道 两路
气体流量控制器 浮子针阀流量控制器
整机参数 重量 65KG
外形尺寸 650mmx550x600mm

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