蔡司工业CT测量机扫描功能基本可分为DR模块和CT模块:
DR(数字化成像技术)模块:DR指在计算机控制下直接对检测的工件进行数字化 X线 摄影的一种新技术,即采用非晶硅平板探测器把穿透工件的X射线能量的信息转化为数字信号,并由计算机重建图像及进行一系列的图像后处理。同时具有实时成像的功能,可直接看到工件内部状态,根据样品缺陷的情况,按照技术要求进行位置和质量的调整,呈现出比较好的二维叠加图像。相对的设备甚至只需几秒,就可获取重要位置的高质量投影图片。
CT(工业CT计算机断层扫描仪成像检测技术)模块:CT模块通常可分为线阵扫描和面阵扫描。线阵扫描:多采用单射线源,扇形的X射线束穿透工件,由多个像素点排成一条线的探测器接收一层断面的信号,采集的信号然后通过计算机重建软件处理,便可得到工件的三维立体信息。根据要求扫描工件局部或者整体时,按每层获取截面信息,扫描层间距越小、时间越长、减少噪声、效果越好,扫描结果尤其适合做塑模比对。面阵扫描:多采用单射线源,圆锥体的X射线束,探测器由许多像素点排列成面。根据工件和面阵探测器的大小比例,可直接获得工件局部或整体的二维投影信号,将所有二维图像通过计算机重建软件处理,便会得到三维立体信息。面阵大大缩短了扫描时间,焦点小一些,二维图像质量高,但是三维噪声会大一点。