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混合气体配比气体混配器流量流量配比

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公司名称郑州科探仪器设备有限公司
品牌
型号
所在地郑州市
厂商性质其他
更新时间2024/5/3 8:20:17
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公司介绍主营产品

郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料创新型企业，如今公司的产品已经遍布国内大多数实验室及*校，科探仪器已经成为老师同学欢迎和信任的品牌之一公司以科技创新为主，服务社会为宗旨，积极设计开发新型材料制备设备，奉献于教育和科学，经过长期的研发和不断地技术积累，拥有热工，制造，控制相关技术10余项，为化学，物理，材料，电子，高分子工程，新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师同学强强联合，形成了有效的信息，技术交流平台，为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持！。目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品，产品囊括实验电炉、CVD供气系统、等离子清洗机、小型离子溅射仪、小型蒸镀仪等，主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究，广销于各大院校，及材料研究所。公司与国内高校，科研院所有多层次的合作关系，建有开放实验室，相关领域的教授、高级工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念，依靠严谨的技术研发能力，科学合理的生产工艺，精益求精的制造要求，全心全意做好产品质量和服务工作，科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。

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温度控制仪

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混合气体配比气体混配器流量流量配比可将多种气体安一定比例均匀混合后通入到管式炉中。各种气体的流量是通过精密的质量流量计来控制，流量计和混气罐都安装在一个移动柜内。此系列设备可用于搭建CVD系统，也可为样品退火提供所需的气氛环境.

混合气体配比气体混配器流量流量配比产品信息

简介

混合气体配比气体混配器流量流量配比主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境.

该 混合气体配比气体混配器流量流量配比可以外接3种气体,采用质子型流量计,气路管道采用304抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.

用途

1.半导体制造行业中气体流量控制

2.各种真空镀膜设备

3.特种材料表面处理

4.气体燃烧控制

5.混和配气系统

6.泄漏探测系统

7.环境检测与分析设备

8.分析仪器的气体流量计量与控制

9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所

技术参数

产品型号	KT-C3Z
产品类型	智能控制触摸屏控制
流量量程	2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm, 1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm
流量控制方式	触摸屏设定流量
时间设定	0-99999
数据导出	有
程序控制	无（可根据要求写程序)
压力显示	无 (可根据需求添加)
耐压	3MPa
密封材料	金属密封 Metal
输入输出信号	(0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,
电源	±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC
阀类型	常开或常闭
温度系数	Span: ≤±0.05% F.S./℃,Zero: ≤±0.05% F.S./℃
零点飘移指标	＜0.6%F.S. per year without autozero
电气连接	Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male
工作压差范围	(0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）
漏率	1×10-10atm•cc / sec He（1×10-11 Pa•m3 / sec He）
标准接头形式	双卡套1/4”(满量程≤30slm),双卡套Φ3 (仅适用于满量程≤5slm产品),双卡套Φ6(仅适用于满量程≤30slm产品),VCR1/4”,IGS W型,IGS C型
表面化学成分	CrO thickness ＞20 Angstroms
表面粗糙度	20µinch
抗电磁干扰	CE
重量	16KG