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Effecttek易泛特晶圆厚度测量仪

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  • 公司名称易泛特技术(深圳)有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地深圳市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2024/5/16 11:49:15
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易泛特技术(深圳)有限公司成立于2016年,有多名行业专家,致力于为行业客户提供业界的高分辩率、非接触式3D测量系统;Effecttek 3D测量系统采用白光和红光等纳米级分辩率的光学器件,配合高精度X/Y/Z移动平台和强大的3D软件算法处理,帮助用户解决精密测量难题,包括:线宽膜厚测量、高度差测量、平面度测量、共面度测量、粗糙度测量等,对透明材质的多层测量也得心应手;产品广泛应用于微电子、半导体、5G、3D玻璃、新型医疗、精密工业制造等领域,提供从产品研发、设计到加工验收的高精度测量支持。
x射线荧光镀层测厚仪
Effecttek易泛特晶圆厚度测量仪技术规格:型号ETM-1200外观尺寸760*500*500mmX、Y测量行程200*200mmZ轴可调行程1
Effecttek易泛特晶圆厚度测量仪 产品信息
Effecttek易泛特晶圆厚度测量仪


技术规格:


型     号


ETM-1200


外观尺寸


760*500*500mm


X、Y测量行程


200*200mm


Z轴可调行程 


1.6-100mm


有效测量范围


160*160mm


扫描最小步距


1μm


光斑直径


18~30μm


横向分辨率


9~15μm


轴向分辨率


30nm


检测重复精度


0.1μm


与表面角度


90°±2°


测量厚度范围


10~2900μm


适应材质


Si(硅)、Doped-Si(涂层硅)、Sic(碳化硅)、Sapphire(蓝宝石)、GaAs(砷化镓)、Glass(玻璃)、GaN(氮化镓)


测量原理


红外光干涉


电     源



AC220V±10%


     


300kg


     


Noise 70db


运行系统


Operational system Win10


关键词:厚度测量仪
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