UHP高纯减压器严格按照高洁净技术要求生产、安装和测试,所有工序均在Class 10/100/1000无尘室进行,确保产品不受污染。
结构特点:
•316L不锈钢母体
•膜片式硬密封,泄漏率低
•可采用面板安装和后座安装
•压力表标准连接:1/4" FRS(M), 可选1/4" FRS(F)
•内部电解抛光
•高洁净的组装和包装适用于高洁净度的半导体行业
•使用寿命长
•99%氦气测试
材质:
• 母体:316L
•阀座:PCTFE*, Vespel®
•膜片:316L
•上盖:316
功能特性:
•流量:Cv=0.14
•母体泄漏率:2×10-8 atm cc/sec He
•阀座泄漏率:4×10-8 atm cc/sec He
•设计验证压力:额定压力的150%
•设计爆破压力:额定压力的400%