筱晓光子 λ/1000 D7系列超高精度激光干涉仪 Difrotec
爱沙尼亚Difrotec公司的激光干涉仪是市场上高精度干涉仪的产品,测量精度可达0.6nm(λ/1000). 其产品D7激光干涉仪采用点衍射技术,主要用于高精度的表面(平面,球面,非球面,自由曲面)检测及透射波检测。Difrotec在光学测试域有多项纪录。
● 峰谷精度:±0.6nm(λ/1000)
● 峰谷分辨率:0.05 nm(λ/12000)
● 波均方根重复性:<0.23nm(λ/2800)
● 简单均方根重复性:<0.06 nm(λ/10500)
● 激光类型和波长:稳定He-Ne,632.8nm
● 数值孔径 NA:0.55(f 0.91)
● 数据采集:相移干涉法(psi)
更新时间:2023/5/24 17:35:26