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日立 离子溅射仪 MC1000

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  • 公司名称富泰微科学仪器(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地上海市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2024/6/17 12:07:57
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富泰微科学仪器(上海)有限公司总部坐落于上海,在江苏设立办事处。富泰微专注纳米级微观光学仪器研发,销售以及售后服务。主要产品包括:SEM扫描电子显微镜、AFM原子力显微镜、TEM透射电子显微镜、FIB聚焦离子束显微镜、共聚焦显微镜、浩视3D显微镜、ZYGO白光干涉仪、ZYGO激光干涉仪、台阶膜厚仪等纳米级光学测量仪器。 公司拥有专业化的管理团队和完善的管理体系,内部建立了完善的服务平台。从产品售前到售后服务都能进行全程的跟踪与管控。公司拥有多年行业管理和销售经验,在细分行业中,得到行业中客户及同行业的高度认可。 我司产品被广泛应用于化工、电子、半导体、材料、生物技术、食品以及政府单位和高校科研院所等领域。
离子研磨仪
产品介绍 采用磁控型电极,限度地减轻对样品的损坏。
日立 离子溅射仪 MC1000 产品信息

离子溅射仪 MC1000.jpg




产品介绍:


采用磁控型电极,限度地减轻对样品的损坏。


产品特点:


1、采用LCD触摸屏,可以更加简便地设定加工条件


2、可处理较厚或较大的样品(选配件)


3、记忆功能可存储常用加工条件


产品规格:


项目说明
放电类型磁控二极管放电型(电场垂直于磁场)
电极组成反向平行盘(嵌入磁铁)
电压 0.4 kV DC(直流可变)
电流 40 mA DC
喷镀速率 *1()
[条件]
压力:7 Pa
放电电流:40 mA
标靶与样品表面之间的距离:20 mm
Pt 靶(选配件)15 nm/min
Pt-Pd 靶(选配件)20 nm/min
Au 靶(选配件)35 nm/min
Au-Pd 靶(选配件)25 nm/min
样品尺寸直径φ60 mm
高度20 mm
机械泵135/162 l/min (50/60Hz)
靶材*²Pt , Pt-Pd (8:2) , Au , Au-Pd (6:4)
电源要求单相, 100 V AC (±10%) 15 A (50/60 Hz), 3-针插头线缆(3 m)
尺寸宽度450 mm
长度391 mm
高度390 mm
重量主机:约 22 kg
机械泵:约 30 kg


*1: 喷镀速率仅供参考

*2: 主机内不包括靶材。请从选项中选择(铂,铂-钯,金,金-钯)。



关键词:触摸屏
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