序号
内容
大理石工作台面# 导轨系统# 方立柱系统# 数字传感器# 水平调整系统# 回转及角度调试系统# 平口装夹系统# 校正标准件一套# Φ3*21mm R0.025mm 斜测针# Φ8*150mm 测杆# 电器控制系统# 电脑# HP喷墨打印机# 测量软件
项目 Item | 参数 Parameter | |
测量范围 Measurement range | X轴axis | 100mm |
| Z1(传感器)Sensor | 40mm |
| 高度Height | 400mm |
测量精度 Measurement Accuracy | X轴 (L=X轴移动导轨距离) (L=X moving distance) | ±(1.5 +0.2L/100)μm |
| Z1轴 (H=Z1轴方向测量高度) (H=Z1meas. Height) | ±(1.2+0.3H/100)μm |
| 角度 | ≤±2′ |
| 半径R≤10mm | ±1.5μm |
X轴 X | 直线度Straightness | 0.8μm /100mm |
| 分辨率Resolution | 0.2μm |
| 产地Origin | 美国MicroE (America) |
传感器 Sensor | 类型 Type | 光栅传感器 Digital grating sensor |
| 分辨率Resolution | 0.1μm |
| 产地Origin | 美国MicroE (America) |
爬坡角度Climbing Ability | 上升77°(Upside), 下降88°(Downside) | |
测量速度Meas. Speed | 0.02mm至4.0mm/s | |
测量方式Meas. Mode | 传感器移动Sensor moving | |
电源Power | AC 220V±10% 50Hz | |
环境要求Environmental conditions | 温度(T):10~30℃;相对湿度(RH):<85% |