采用LCD触摸屏,可以更加简便地设定加工条件
可处理较厚或较大的样品(选配件)
记忆功能可存储常用加工条件
*1: 喷镀速率仅供参考
*2: 主机内不包括靶材。请从选项中选择(铂,铂-钯,金,金-钯)。
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