ADL GG 03电源用于长光束源的直流电源
ADL 离子源电源
对于离子源(Kaufmann 和 ECR)的作,可以使用特殊电源。根据要求,这些装置还可以配备其他输出电压或输出功率。所有电源均具有 AS 4 接口、Profibus、EtherCat 或 RS232。
ADL突出特性:
在离子束和等离子体工艺技术中的广泛应用
ADL蚀刻、溅射等等
ADL创新应用,例如微电子、光学和传感器
ADL GG 03加速器技术参数:
ADL输出功率300W
输出电压最大1000 V
输出电流300mA
功率消耗500 VA
ADL指示
电流和电压的31/2位数字显示
ADL控制
电流或电压控制
ADL操作模式
通过前面板或外部控制接口手动
ADL设定值 :0...100%的额定值电流和电压
输出精度
电流或电压的标称值的+/-1%
ADL主电源输入连接
线路电压
230V,+/-10 %,50/60 Hz,PE
冷却系统
空气冷却
内置风扇,最大环境温度40℃
风扇噪音排放
噪音水平<70 分贝(A)
ADL机械数据
尺寸
宽度:218毫米(1/219英寸),高度:132.5毫米(3HU),长度560
重量(不含包装)
11千克
ADL GG 03电源用于长光束源的直流电源