JIMA分辨率测试卡

JIMA RT RC-05B是一款采用半导体光刻技术制作的微型分辨率测试卡。它用于校准和监控系统分辨率，确保微焦点或纳米焦点X射线检测系统获得高质量的结果。JIMA RT RC-05B支持3微米至50微米（3 µ m至50 µ m）的分辨率。这对应于6微米和100微米（6 µ m和100 µ m）之间的焦斑尺寸。

16组I&T布局，2x2 mm，8x8 mm硅基，如上图

下图为尺寸为5 μm I&T的图像

Au Slit的数量为3行和2个空格

宽度3至10 μm：T形布局

宽度15至50 μm：I形布局L/S宽度

L/S宽度：3、4、5、6、7、8、9、10、15、20、25、30、35、40、45、50 μm

JIMA RT RC-05B分辨率测试卡,JIMA分辨率测试卡实物拍摄图：