光学膜厚控制仪 仪表

光学膜厚控制仪 仪表

光学膜厚控制仪 仪表

主信号通道：电压单端输入

满程灵敏度：0.5mV~500mV

频率范围：1KHz,±5%

锁相噪声：≦4nV

线性误差：≦1%

零点漂移：0.2%（小时）

参考信号通道：电压单端输入

输入幅度：20mV~700mV

频率范围：1KHz,±5%

相位锁定范围：≧320°

电源电压：220VAC/50Hz

外形尺寸：宽482x高89x深322（mm）/标准2U面板

净重：7.5Kg

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