微波等离子发生设备 | |||
型号 | WB.2-MDZ-1500 | ||
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简介 | 该设备利用频率为2450MHz的微波激励稀薄气体放电,从而产生等离子体。可用于等离子体气相沉积、等离子体气相刻蚀等实验,用于制备金刚石膜或其它多种功能薄膜,可催化引发常规化学很难实现的反应 本设备由微波系统、真空系统、水冷系统等几部分组成 |
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微波等离子发生设备 产品信息