技术参数: | ||
高精度: | 3+L/75um | |
大行程: | X、Y行程:200*100mm;Z行程:100(调焦用) | |
物镜: | 可选倍数: | 10X 、 20X 50X 、100X |
物方视场 | Ф30、 Ф15、 Ф6、 Ф3 | |
外型尺寸 | 780*780*1100 mm | |
仪器重量 | 160KG |
13、两圆之间垂直距离、水平距离、圆心距离、直径。