快速影像测量系统介绍
| 高精度测量模式 | 大视野测量模式 |
显示分辨率 | 0.1 µm | |
重复精度 | ±1 µm | ±2 µm |
测量精度 | ±2 µm*1 | ±8 µm *2 |