雷尼绍光栅尺

雷尼绍光栅测量系统广泛应用于大多数工业领域，包括计量、运动系统、电子、半导体设备、医疗、扫描/ 印刷、科学仪器、空间测量、影像和机器。“无论何时何地，只要有精密运动控制，就需要精密光栅测量系统。” - - 雷尼绍就能满足这一需求。

雷尼绍光栅尺的改造优势: 
1、机床改造总投资极少,与旧机床的残值相适应; 
2、具有附机功能,能随时装卸,与其它机床通用 
3、无其它装置的装调手续,便于维修; 
4、操作工人易掌握,不经培训亦可使用.它主要用于改造各类车床、磨床、镗床，尤其是改造外圆磨和圆心磨，其成效更为显著。 
5、进行大型机床数显改造后，可以降低了工人的劳动强度，节省了劳动力，提高工作效率，减少废品率，机械性能稳定可靠。 
6、用途广泛：它不仅能用于铣床、钻床、镗床和车削加工的常规任务，还能为许多机床、测量设备和测试设备以及机床提供理想的解决方案，事实上它适用于所有手动机床。 
我公司光栅尺的优势
1、采用优质的PU材料制造出耐油、高弹性及抗老化胶封。由工程师精心设计出*的闭合角度和zui适中的软硬度，保证*的密封性能和zui少的磨擦阻力。 
2、读数头滑动部分结构采用已被验证为zui可靠耐用的五轴承设计，采用耐用的高精度五轴承系统设计，保证光学机械系统的稳定性，优异的重复定位性和高等级测量精度。 
3、采用美国Honeywell公司的高效能AIGaAs红外线发光管为光源。讯号强而稳定，可靠性高。
4、弹簧的几何设计经过精确详细的力学模型分析，并采用高级德国制弹簧钢材制造。确保光学感应系统就是在高速的移动情下，仍能紧贴在光栅尺上无跳动地滑行。

我公司产品特点：
可靠的光学测量系统
u 读数头滑动部分结构采用已被验证为zui可靠耐用的五轴承设计，保证光学感应系统能*稳定地在光栅尺上畅顺滑行。
u 弹簧的几何设计经过精确详细的力学模型分析，并采用高级的德国制弹簧钢材制造。确保光学感应系统就是在高速的移动情况下，仍能紧贴在光栅尺上无跳动地滑行。
u 所有轴承均采用日本JIS规格P5等级高精度轴承，保证滑行畅顺，跳动量低，可靠耐用。
u 采用美国Honeywell公司的高效能AIGaAs红外线发光管为光源。讯号强而稳定，可靠性*
特点：
1、*的电子技术及个性化设计；
2、计数响应速度快，功能多；
3、直接在数显表上进行正弦、余弦、正切函数等函数计算；
4、可以在X和Y方向进行自动*补偿；
5、坚固耐用的合金外壳，不易刮伤，且美观大方；
6、电源和信号抗*力强；
7、优质耐用的按键面板，且更换简单、方便.
用途：
主要应用于直线移动导轨机构，可实现移动量的精确显示和自动控制，广泛应用于机床加工和仪器的精密测量。可供不同规格的各类机床、仪器数字化改造选用，还可根据用户的特殊需要进行特殊制作。
数显装置由传感器与数显表两大部分组成。通过传感器把有形的位置信息转换成电信号，经过处理后以数字形式显示出来。
产品分为JCXF型（小型尺）、JCXE型（标准型）、JCXG型（大型尺），输出波形为单方波、双方波、正弦等多种波形方式，配备的电箱有：1、DRO2M和DRO3M多功能铣床用的两轴和三轴数显表，可以用于大多数的设备、也可以用于车床和磨床；2、DRO2L和DRO2G是针对车床和磨床而开发的数显表；3、DRO3E是为火花机开发的数显表。

光栅尺相关参数：
●测量范围：50mm～3000mm 
●测量准确度：±6um/m～±10um/m 
●测量基准：光栅周期20μm的光学玻璃尺 
●光学测量系统：透射式红外线光测量系统，红外线波长880nm 
●反应速度：60m/min（0.005mm） 25m/min（0.001mm）
更多产品信息请销售工程师：于洪超  
hongchao_yu@foxmail.com

二，部分型号

RG4 40 μ m系列雷尼绍光栅尺 

l 40 μ m 栅距 

l 分辨率达0.1 μm 

l 长度可灵活剪切的钢带光栅和玻璃光栅 

RGX 平面光栅 

l 易于安装的40μm栅距的网格平面 

l 分辨率达0.1 μ m 

l 抗污迹的光学滤波系统 

附件 

l 细分卡/接口 

l 光栅尺安装器 

l 安装用附件和用户订制的光栅测量解决方案

（2）RG2 系列产品种类 

（a）RGH22 雷尼绍光栅读数头

l 小巧坚固的外壳 

l 工业标准的数字和模拟信号输出 

l 内置细分卡和安装LED 指示灯 

l 分辨率从5μm，1μm，0.5μm，0.1μm 到50nm 

l 参考零位和双限位开关传感器 

l 高柔性双屏蔽12 芯电缆或带状电缆可选 

l 三态低电平报警信号或全报警输出 

l 16.0mm×44.0mm×27.0mm （H×L×W） 

l 也可提供5μm，1μm，0.5μm （RGH26）的与Mitsubishi 

Melservo?-J2-Super 兼容的产品 

（b）RGH24 雷尼绍光栅读数头

l 超小型坚固外壳 

l 工业标准的数字和模拟信号输出 

l 内置细分卡和安装LED 指示灯 

l 分辨率从5μm，1μm，0.5μm，0.2μm，0.1μm 到50nm 不等 

l 参考零位或单限位开关传感器 

l 高柔性双屏蔽8 芯电缆 

l 三态低电平报警信号输出 

l 14.8mm×36.0mm×13.5mm （H×L×W） 

l 可提供JST 连接器型产品 

（c）RGH25 雷尼绍光栅读数头

l 超小型坚固外壳 

l 工业标准的数字和模拟信号输出 

l 外置细分卡配有安装LED 指示灯 

l 分辨率从5μm，1μm，0.5μm，0 . 1μm ，50nm，20nm 

到10nm 

l 参考零位或单限位开关传感器 

l 高柔性双屏蔽8 芯电缆 

l 三态低电平报警信号或全报警输出 

l 10.5mm×36.0mm×13.5mm （H×L×W）        

（1）RG2 20 μ m 雷尼绍直线光栅尺 特点：

l 20 μ m栅距 

l 分辨率达10nm 

l 光栅尺可按需剪切至任意长度 

RESR 圆光栅 

l 360°精密角度测量 

l 角度分辨率达0.01″ 

l 系列可选直径 

（d）RGH25UHV系列雷尼绍真空读数头

l 超高真空兼容读数头 

l 工业标准的数字和模拟信号输出 

l 外置细分卡配有安装LED 指示灯 

l 分辨率从5μm，1μm ，0 . 5μm，0 . 1μm，50nm，20nm 到 

10nm 不等 

l 参考零位或单限位开关传感器 

l FPC 连接器或网状电缆 

l 三态低电平报警信号或全报警输出 

l 低耗电量 

l 12.3mm×36.0mm×13.5mm （H×L×W）（FPC 型） 

l 10.5mm×36.0mm×13.5mm （H×L×W）（电缆型）

机器和运动系统的有效运动控制需要高性能的圆光栅或直线光栅。如果某种机器运动要求高水准的定位 精度，同时还要精确可靠，的解决方案就是使用非接触直线光栅。雷尼绍的RG2 具有可靠耐用的光栅尺、优异的的测量性能并且可根据用户需要剪至任意长度。而且它不象大多数传统的光栅尺，需要特别维护与清洁。在大多数开放式光栅被视为并不适宜的情况，雷尼绍*的光学滤波系统也能保证信号的幅度、纯净 

和精度。追求更高的精度使得直接反馈直线位置的光栅成为人们更喜爱选用的产品。直线电机速度快、定位精度高、操作简单，因而被广泛使用，从而使圆光栅正从许多需要直线反馈的应用场合中淡出。RG2 读数头采用的创新技术集成了其灵活、用户友好的特点，同时具有优异的测量性能。世界的坐标测量机的制造厂商都信任RG2。 

在他们的很多机器上都能看到令人熟悉的金黄色条状光栅尺。 

为何使用RG2 光栅？ 

l 高速、可靠的非接触式特性适 

用于现今工厂自动化生产对高速度的要求 

l 零磨擦和零机械磨损 

l 开放式光学系统可抵御大多数 

自动化生产环境中的污染 

l 成卷供货的光栅尺可被方便地 

“剪至所需”（轴长zui长可达70m ），不需储备不同长度的光栅尺 

l 获得的光栅尺安装器，有助于实现快速简便的安装 

l 内置式安装指示灯：绿灯亮时表示安装正确；无需示波器或专门的安装装置 

l 双限位开关具有*的指示轴 

向运动停止点的功能 

l 结构紧凑的读数头具有集成的内置细分电路，有系列模拟和数字信号输出，分辨率从5 μ m 到10nm 

l *的光栅尺与基体的热匹配直线

（3）RG2 应用案例 

在当今越来越多的自动化系统中，人们更多地喜爱选用直线光栅。为获得高产出、高速度、高精度、高重复性和稳定性，机器的设计者们需要的运动控制部件。在半导体制造、电子装配、机器、激光切割、光学检测、印刷线路板测头检测、印刷、扫描和科学仪器中应用RG2，这些只是其采用雷尼绍光栅提高机器性能的几个例子。直线电机直线电机是现代化的运动系统的重要组成部分。无论是用于电子装配、检测机器、扫描或印刷机器，它们都可简化机器的结构，同时提高速度、控制水平和可靠性。RG2 直线光栅是使直线电机实现高速和定位精度的*位置反馈解决方案。 

印刷线路板检测随着印刷线路板的复杂程度、线路密度和价值的不断升高，其整个装配过程都需有快速、可靠的在线错误检测与校正。直线光栅提供的快速、精确与可靠的工作性能使其在自动光学检测系统（AOI）与飞针测试仪中扮演着重要角色。使用点胶和焊剂的表面封装点胶、焊剂或表面封装都需要高产出、高速度、高精度、高重复性 

和可靠性。要达到这样的性能，机器的设计者需要的运动控制部件如精密直线导轨及直线电机，而要使其发挥*性能，则需借助于高速、非接触直线光栅。切片机对这一领域的产量、收益、可靠性和性能指标的需求正呈强劲上升的趋势。为跟上潮流的步伐，切片机制造商需要不断提高其机器的性能。空气轴承、直线电机和陶瓷导轨的新 

技术可大幅提高机器的性能，但若没有高品质的直线光栅，这些设计是不可能实现的。平板印刷（CTP）为简化机器设计和节约成本，一些基于CTP 系统的旋转（鼓式）印刷机的制造商正在重新构思他们的机器并向平板印刷方向改进。不同于旋转型的印刷机，平板印刷机采用高速直线电机驱动扫描头。印刷图象的清晰度是至关重要的，所 

以制造商们依赖于高品质的直线光栅以控制直线电机的运动。RG2 再一次为这些应用领域展露所需的高速度、高可靠性和极小的周期误差

（二）RESR 圆光栅 

雷尼绍光栅具有*的灵活性、市场的性能和低购买价格，使其成为机器设计者的*。多年来，我们一直帮助用户安装灵活的有锥度基面的圆光栅，从而获得许多关于圆光栅应用的知识。借助于这种经验，我们开发出了一种圆光栅产品，其不止是一些特色的罗列，而更是能从根本上诠释用户使用意图的产品。RESR 圆光栅是基于雷尼绍的* 无二的RGR 圆光栅基础开发出来的，它是在不锈钢圆环的表面使用了雷尼绍灵活的直线光栅。而RESR 圆光栅的刻线是直接刻在圆环的外表面上的（栅距20μm 或40μm ），这样就消除了R G R 潜在的在接合处信号丢失的危险，简化了安装过程并实现较高的速度。栅距20μm 的RESR 圆光栅使用雷尼绍新型的RGH20 读数头，而栅距40μm的RESR 光栅使用RGH34 或RGH40 读数头。顺理成章地，所有读数头都具有雷尼绍的*的光学滤波系统的设计，可在有污物、划痕或油腻指纹情况下读数。RESR 有多种直径可选，所有内径有共同特色，即比外径小20mm，使它们具有超小的截面和大的内径 — 易于安装所有必需的管线。这种轻薄的设计赋予其非常低的转动惯量，保证无论安装在哪里，整个系统扭矩zui小，速度zui快。虽然横截面小，却不影响它的精度。事实上，与雷尼绍的获得的锥度基面安装配合使用，所有的安装超差— 包括那些来自于原安装面的误差 —以及跳动或椭圆度都可通过简单而牢固的精确调整获得补偿。为何要使用RESR？ 

l 系统精度为± 0.7″（光栅直径为413mm） 

l 角度分辨率为0.01″ 

l 多种直径和刻线数，与一系列的 

工业标准的控制器兼容（直径从52 m m 到413 m m，刻线数从4,096 到64,800 ） 

l 高速、非接触的光学测量系统 

l 零反向间隙 

l 具有的锥度基面安装方式使安装简单、误差zui小 

l 与高真空兼容 

l 外型小巧，易于集成 

l 低质量、低转动惯量 

l 有100，150 和200 m m 外径的超低转动惯量的圆光栅可选 

（1）RGH20 简介 

l 与20μm 栅距RESR 圆光栅兼容 

l 光学滤波系统提供优异的抗污迹能力 

l 小巧坚固的外壳 

l 工业标准的数字和模拟信号输出 

l 内置细分卡和安装LED 指示灯 

l 分辨率从5 μm ，1 μm，0.5 μm ，0.1μm，50nm，20nm 到10nm 

l 参考零位或单限位开关传感器 

l 高柔性双屏蔽8 芯电缆 

l 三态低电平报警信号或全报警输出 

l14.8mm（或10.5 mm ）×36.0mm×13.5mm （H×L×W） 

l 可选高真空兼容型

（2）RESR 系列 

l 刻划精度达± 0.5″ 

l 系统精度达± 0.7″ 

l 分辨率达± 0.01″ 

l 重复性达± 0.01″ 

l 直径尺寸范围从ф 52 mm 到ф 413 mm 

l 刻线数从4,096 到64800

RG4 系列产品种类 

RGH41 

l 与RGS40-S 钢带光栅兼容 

l 小巧坚固的外壳 

l 宽松的安装调整间隙和公差 

l 工业标准的数字和模拟信号输出 

l 内置细分卡和安装LED 指示灯 

l 分辨率从10μm，5μm ，2 μm 到1μm 

l 参考零位和双限位开关传感器 

l 高柔性双屏蔽12 芯电缆 

l 三态低电平报警信号或全报警输出 

l 16.0mm×44.0mm×27.0mm （H×L×W） 

RGH34 

l 与RGS40-S 钢带光栅和其它40μm 反射光栅兼容 

l 与40μm 的RESR 圆光栅兼容 

l 超小、紧凑的读数头 

l 宽松的安装调整间隙和公差 

l 质量<2g 

l 工业标准的数字和模拟信号输出 

l 紧凑的PCB 接口提供一系列的插补输出 

l 分辨率从10μ m，5μ m，2μ m，1μ m，0. 4μ m 到 0.2μm 

l FPC 带状电缆 

l 参考零位和单限位开关传感器 

l 三态低电平报警信号或全报警输出 

l 9.5mmX15mmX15mm（HxLxW） 

RGH40 

l 与RGS40-S 钢带光栅兼容 

l 与40μm 的RESR 圆光栅兼容 

l 小巧、紧凑的读数头 

l 宽松的安装调整间隙和公差 

l 内置细分卡和安装LED 指示灯 

l 工业标准的数字和模拟信号输出 

l 紧凑的PCB 接口提供一系列的插补输出 

l 分辨率从10μ m，5μ m，2μ m，1μ m，0. 4ìm 到0.2 μ m 

l 参考零位和单限位开关传感器 

l 高柔性双屏蔽12 芯电缆 

l 三态低电平报警信号或全报警输出 

l 17mmX44mmX27mm（HxLxW）

RGH40-G 

l 镀铬刻线栅距为40 μ m的玻璃光栅尺 

l 标准测量长度有1 2 0 、1 70 、2 2 0 、2 7 0 、3 0 0 、500、750mm 和1000mm 可选 

l 热膨胀系数<8.3 - 8.5ppm/℃ 

l 精度：± 4.16μ m/m 

l 可用金属夹或可选的自粘安装方式 

l 同RGH40 读数头系列兼容超高真空 （UHV） 光栅
UHV产品特征如下：
– RESOLUTE UHV是适合在UHV环境下使用的真正式光栅
– 由真空兼容材料和粘合剂制成，出气率低
– 残余气体分析 （RGA） 经验证不会污染真空环境
– 120 °C烘焙温度
– 非接触开放式光学系统提供高速、可靠的操作，摩擦和磨损均为零
– 具备工业标准的模拟和数字输出，分辨率达1 nm
– 电耗低、发热小
– 无气密孔
– 自适应电路可提供高性能、*可靠性和低电子细分
误差 （SDE）（RESOLUTE UHV为±40 nm，TONiC UHV为±30 nm，RGH25F UHV和
RGH20F UHV为±50 nm）
– UHV兼容电缆
– TONiC UHV光栅具有光学参考零位
– 高精度直线光栅和圆光栅系列
雷尼绍还包括一些真空光栅尺RESOLUTE UHV、TONiC UHV、RGH25F
UHV和RGH20F UHV读数头
雷尼绍超高真空 （UHV） 兼容光栅系列中的所有产品都经过专门设计，用于各种科学、半导体
和其他高级工业应用场合，真空压力达10-11 Torr。其基本工作原理与我们的同类标准大气压下的产
品相同，但是UHV光栅在设计上消除气密孔，并且由洁净的真空兼容材料和粘合剂特制而成。产
品在UHV环境下的适用性已获得独立的专业检验站鉴定，包括残留气体分析 （RGA） 光谱测试。
该系列包括RESOLUTE、TONiC、RGH25F和RGH20F读数头，以及各种直线光栅和圆光
栅，提供优异的性能和高可靠性。
RESOLUTE UHV采用真正意义上的式光栅工作原理，与RESOLUTE系列的其他产品相
同。因此光栅具备小栅距性能，并且安装公差大，内在安全性高。RESOLUTE开启后立即确定
位置，减少非受控运动，并且有助于执行完整的轴命令，无需返回基准位置或者“开启并晃
动”。RESOLUTE的分辨率为1 nm，电子细分误差 （SDE） 为±40 nm，RMS噪音<10 nm，同时也
帮助用户显著提高性能。
该系列中的所有增量式读数头都包含动态信号调整功能，其中自动增益控制 （AGC） 有助于长
时间内获取稳定可靠的信号，而自动偏置量控制 （AOC） 则有助于提高信号保真度。AOC和光栅的
低位置噪声也有助于降低直驱系统的速度波动，从而在zui大程度上帮助减少真空条件下电机中积
聚的热量。
通过直线测量标准确保了高精度，其中包括自贴式钢带栅尺、不锈钢和ZeroMet栅尺选项。圆
光栅选项包括轻薄小巧的RESR / RESM和超高精度的REXM圆栅，精确度保证优于±1角秒。

雷尼绍renishaw光栅尺RESOLUTE通过双向纯串行方式通信，采用各种行业标准协议，包括专有和开放的协议。工作过程开始控制器发送需求信息到读数头后开始工作，指示它立即采集直线或圆形栅尺上的位置。读数头通过闪烁大功率LED光源照亮栅尺进行响应。闪烁时间仅持续短短的50 ns，以尽量避免运动轴的图像变模糊。关键在于定时要控制在几纳秒内，以保持要求位置和报告位置之间的关系 — 这是使RESOLUTE适合超高规格运动系统的重要功能之一。

更多renishaw雷尼绍光栅产品请销售工程师：

于洪超  

hongchao_yu@foxmail.com

雷尼绍单码道光栅尺

从本质上说，该栅尺属于全尺线宽的单码道，以30 μm名

义栅距为基础。摒弃多个平行码道方式很大程度上避免了扭摆

误差，并且读数头的侧向公差更为宽松。

图像采集

栅尺通过非球面透镜在专为RESOLUTE设计定制的探测器

阵列上成像，zui大程度上降低了图像失真。这种光学滤波系统

采用折叠照明路径直接成像，设计精巧且稳定，从而确保了完

美测量对保真度的基本要求。

数据解码和分析

探测器采集图像之后，就会通过模数转换器 （ADC） 以大约

500 Mb/s的速度传输至功能强大的数字信号处理器 （DSP）。接

着，专门开发的算法就会从嵌入栅尺的代码中获得真正、

但相对“粗糙”的位置。DSP利用栅尺代码中的冗余和刻意的限

制，通过更高级算法检查这一过程，并作出修正。同时，其他程

序会计算出非常高分辨率的“精细”位置，然后与“粗糙”位置

相结合，从而确定真正的、非常高分辨率的位置。

zui终检查和数据输出

更多renishaw雷尼绍光栅产品请销售工程师：

于洪超  

hongchao_yu@foxmail.com