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日本YAMATO大型等离子清洗机 V1500X

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称重庆泰图科技有限公司
  • 品       牌
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  • 所  在  地
  • 厂商性质
  • 更新时间2017/5/26 1:43:50
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大型等离子清洗机
日本YAMATO大型等离子清洗机 V1500X 产品信息
V1500X
  • RIE / DP mode selectable
  • Aluminum chamber
  • For Magazine CSP/BGA
  • LCD Touch panel operation
  • Easy to set up parameter and operation
  • Built in safety function with Emergency stop switch

Specifications
Model V1500X
Plasma method RIE • DP mode
Electrode Parallel flat stage plate
Electrode material SUS-304
Chamber temperature Digital display
RF generator 100~1500W
Oscillation 13.56MHz
Control system LCD Touch panel with PLC
Tuning method Automatic and Manual
Timer 1sec-9H 59min 59 sec
Chamber size （W）600×（D）550×（H）600mm
Stage size （W）460×（D）400mm
Chamber material Aluminum
Reaction gas O2,Ar,CF4
Purge gas N2 or Dry air
Flow meter Mass flow control 2 line
Vacuum pump 1,400L/min
Emergency stop switch Push type switch
Gas port 2 pc （1/4"SUS swage - lock）
Purge port 1pc （1/4"SUS swage - lock）
Vacuum port 1pc （SUS NW40）
External dimension （W）900×（D）1,000×（H）1,700mm
Power supply AC200/220/380V 3 phase 25A
Weight Approx. 300kg

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