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在真空镀膜(PVD)磁控溅射工艺中,电源的输出稳定性、电弧抑制能力与控制精度,直接决定薄膜均匀性、靶材寿命及生产良率。德国ADL公司推出的GS05/800紧凑型直流磁控管电源,以0.5kW额定功率、8【详情】