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UL1000氦质谱检漏仪-INFICON

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公司名称利方达（香港）有限公司北京办事处
品牌
型号UL1000
所在地北京市
厂商性质其他
更新时间2017/7/9 23:38:45
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产品标签:

氦质谱检漏仪真空检漏仪

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公司介绍主营产品

利方达(香港)有限公司于2002年创建。公司目前集中了一批多年从事真空镀膜专业的技术人员和经验丰富的市场销售人员,现已经发展成为由利方达(香港)有限公司,深圳市利方达科技有限公司,利方达科技北京办事处组成的，集真空产品研发,生产及贸易以及维修服务为一体的企业集团。我们的业务专长于真空及镀膜设备领域的代理销售业务，致力于把世界上*的技术和设备引进中国.凭借多年的真空专业技术积累, 雄厚的技术力量和真诚的服务, 我们得到了业界的众口称赞,拥有了大量的客户群体, 产品广泛用于真空,光学、电子、半导体、平板显示等相关领域.

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射频电源,中频电源,直流电源、质量流量控制器,石英晶体膜厚控制仪,残余气体分析仪

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德国INFICON公司氦质谱检漏仪

UL1000氦质谱检漏仪

在检测低至 10-12 atm cc/s 泄漏的稳定性和敏感度方面具有新的表现

? CAL(智能漏率计演算)确保在全部测量范围内闪电般的快速响应

UL1000氦质谱检漏仪-INFICON 产品信息

德国INFICON公司氦质谱检漏仪

UL1000氦质谱检漏仪

在检测低至 10^-12 atm cc/s 泄漏的稳定性和敏感度方面具有新的表现

Ø CAL（智能漏率计演算）确保在全部测量范围内闪电般的快速响应

Ø 可旋转显示器/控制界面和可选遥控手持控制器提高操作的灵活性

Ø 更为方便的移动式

Ø 连接口均位于一侧

Ø 可靠性更高的真空系统

Ø 通过软件升级可始终保持UL1000的*性能

Ø 离子源三年保修期

应用：

Ø 半导体工艺设备的维护，该设备本身带或未带有真空泵

Ø 工艺气体系统的检测与安装

Ø 元器件在组装前的漏率测试

Ø 要求高抽速、高灵敏度以及清洁测试条件的应用场合

技术参数

zui小可检漏率（按AVS2.1和EN1518标准）	＜5×10^-12mbar.l/s
zui小可检漏率（吸入器模式）	＜3×10^-8mbar.l/s
入口压强粗检模式精检模式超精检模式	15 mbar 2 mbar 0.4 mbar
在抽空过程中的抽速	25立方米/小时
入口压强对氦气抽速粗检模式精检模式超精检模式	8 升/秒 7升/秒 2.5升/秒
可检质量数	2、3、4amu, 氢，³氦，氦
电源电压	110－120V；220－241V
重量	110公斤；242磅
尺寸，包括手把（长×宽×高）	1068×525×850毫米