德国PI P-363 PicoCubeXY（Z）压电扫描仪

德国PI P-363 PicoCubeXY(Z)压电扫描仪

P-363 PicoCubeXY(Z)压电扫描仪

用于扫描探针显微镜的高动态纳米定位系统

P-363

PicoCubeXY(Z)压电扫描仪

§ 用于AFM / SPM的超高性能闭环扫描仪

§ 用于生物/纳米技术的紧凑型操纵工具

§ 谐振频率9.8千赫兹

§ 电容式传感器可实现zui高精度

§ 并联测量技术可实现导向误差的自动化 补偿

§ 分辨率50皮米

§ 行程5微米×5微米×5微米

§ 真空兼容版本

应用领域

§ 扫描探针显微镜

§ 原子力显微镜

§ 扫描和筛选

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、*稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。 它们*真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的SubD连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度

各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿（取决于带宽）（主动 导向）。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可 实现极低的排气率。

规格

                      P-363.3CD         P-363.2CD        单位

主动轴                  X、Y、Z            X, Y

运动和定位

集成传感器               电容式          电容式

-250至+250伏时X、Y向上的开环行程  ±3    ±3             微米

 -250至+250伏时Z向上的开环行程    ±2.7    -             微米

X、Y向上的闭环行程                  ±2.5   ±2.5          微米

Z向上的闭环行程      ±2.5    -      微米

分辨率，开环*         0.03    0.03   纳米

分辨率，闭环          0.1     0.1    纳米

线性误差          0.05         0.05    %

重复精度**        1          1      纳米

X、Y向上的螺距/偏转角 0.5   0.5    微弧度

Z向运动时的倾斜       0.2   -      微弧度

X、Y向上的直线度      3     3     纳米

X、Y向上的串扰（Z向运动） 5    -    纳米

机械特性

 X、Y向上的空载谐振频率   3.1    4.2   千赫兹

Z向上的空载谐振频率 9.8 - 千赫兹

带负载时X、Y向上的谐振频率 1.5 (20 克) 2.1 (20 克) 千赫兹

负载容量 10 10 牛

陶瓷类型 PICA, PICA Shear PICA Shear

其他 工作温度范围 -20 到 80 -20 到 80 °C

材料 钛金属 钛金属

尺寸 30 毫米 × 30 毫米 × 40 毫米

30 毫米 × 30 毫米 × 28 毫米

质量 225 190 克

电缆长度 1.5 1.5 米

传感器/电压连接 Sub-D24W7（公头） Sub-D24W7（公头）

*电控 E-536 E-536

订购信息

P-363.2CD PicoCube高精度XY向纳米定位系统，5微米 × 5微米，平行计量，电容传感器，Sub-D连接器

P-363.2CL PicoCube高精度XY向纳米定位系统，5微米 × 5微米，平行计量，电容传感器，LEMO连接器

P-363.3CD PicoCube高精度XYZ向纳米定位系统，5微米 × 5微米 × 5微米，平行计量，电容传感器，Sub-D连接器

P-363.3CL PicoCube高精度XYZ向纳米定位系统，5微米 × 5微米 × 5微米，平行计量，电容传感器，LEMO连接器

德国PI P-363 PicoCubeXY(Z)压电扫描仪