伯努利吸笔

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公司名称北京锐洁机器人科技有限公司
品牌
型号
所在地北京市
厂商性质经销商
更新时间2018/10/26 14:23:07
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公司介绍主营产品

北京锐洁机器人科技有限公司位于中国半导体行业中心地北京亦庄经济技术开发区，是由优秀的留学归国技术人员所创办的高科技技术型企业。
　　公司核心技术人员拥有在国内外半导体行业20年的实际从业经验，能够设计可用于半导体设备的各种自动化设备。公司当前的主力产品为小尺寸晶圆自动装卸载系统以及日本洁净机械手臂专业厂家JEL生产的各种洁净机械手臂等。
　　公司自主独立研发的小尺寸晶圆自动装卸载系统具有占地面积小、自动化程度高的特点，能够有效的提高产线效率，降低生产成本； JEL公司生产的各种洁净机械手臂具有洁净度高、性价比优秀、稳定性好的特点，能够满足中国客户需求，适合当前的中国市场。
　　作为日本JEL公司在中国地区的*合作伙伴，我公司和JEL公司将持续不断的为中国市场提供专业、高性价比的产品以及优质、快捷的服务。

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小尺寸晶圆自动装卸载系统以及日本洁净机械手臂专业厂家JEL生产的各种洁净机械手臂

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伯努利吸笔利用伯努利原理能够吸附减薄晶圆轻盈，小巧由于不属于真空吸附，能够降低晶圆破损的风险至低

伯努利吸笔产品信息

伯努利吸笔利用伯努利原理能够吸附减薄晶圆轻盈，小巧由于不属于真空吸附，能够降低晶圆破损的风险至低，广受设备厂商好评的产品，可吸附厚度80微米的减薄晶圆

伯努利吸笔

吸笔前端能够自由活动不但能够应对水平摆放的晶圆，还能够从晶圆片盒，晶圆Cassette中取放晶圆片
同时还可以用于晶圆之外的各种物体的搬运
利用旋风效应吸附晶圆,吸盘不需要和晶圆*接触
和被吸附物接触的吸盘垫片（材质：氟橡胶）能够缓冲吸附过程中的冲击力，并且不需要夹持被吸附物的边缘

前端吸盘模块和本体之间使用了可调节的软管结构，作业员能够任意地调节吸盘和本体之间的相对角度

应用设备实例

半导体后道工序生产工厂

规格

被搬运物	2, 3寸, 100～150 mm 可为客户定制适用于200 mm，300 mm晶圆的产品
材质	铝合金（前端）
表面处理	旋风吸盘：黑色阳极氧化处理前端其他部分：白色阳极氧化处理
晶圆吸附方式	利用旋风吸盘提供吸力并利用氟橡胶材质的垫片保持晶圆和吸盘之间的相对位置
允许搬运重量	50 g以下
使用气体	洁净空气，N2
供给压力	0.3 MPa以下（吸笔本体的入口处）
气体流量	大15 L/min
质量	110 g