HPL 系列直线电机模组1

￭ Travel 100mm,150mm,200mm,300mm,400mm,500mm,600mm
￭ 定位精度达（直线误差修正后）：±1µm（Travel≤200mm）
￭ 稳定且优良的轴系提供了平滑运动，经算法优化可以获得小的动态跟随误差
￭ 线性表现优良的光栅反馈系统，可以获得point-to-point位置精度

￭ 标准的模块化设计，灵活的单轴/多轴解决方案
￭ 整体密封结构，轻量化、高刚性结构设计，低成本，高性能
HPL-170LM直线电机平台采用无铁芯直线电机驱动，平台行程从100至600mm。该平台拥有优良的设计，严苛的轴系装配工艺，但成本低，这使得HPL-170LM直线电机平台得以广泛适用于需要成本效益、精密解决方案的工业应用，如半导体晶圆检测、微电子组件测试、取放、DNA测序、激光加工等领域。

Construction Features

HPL-170LM直线电机平台采用7075#航空铝经一体化加工成型，同时减少因导轨和铝主体不同的热膨胀系数引起的折弯效应。导轨对称分布在基座两侧，减少两种不同金属热膨胀带来的影响，同时高刚性的基座将负载情况下的偏转、滚摆降到较小。
导轨钢球通过与球保持器配合使用，沿经精密研磨加工而成的4列滚动面进行滚动，实现了4方向等负荷、低重心、高刚性、高精度、平滑稳定的直线运动，出色的负载能力、长寿命、低噪音。

Linear Motor Drive

HPL-170LM直线电机平台采用了无铁芯直线电机作为驱动部件。该直驱平台拥有较高的速度、较高的加速度和稳定的精度表现。由于采用零间隙传动，可减少相关结构部件的磨损，同时减少结构部件数量。因此，HPL-170LM直线电机平台相对于丝杆驱动，结构更加紧凑，效率更高。

High Performance

HPL-170LM直线电机平台集成具有较好线性表现的开放式增量光栅系统，可以提供较好的的分辨率、重复性和稳定性。稳定的光学零位，保障双向回零的重复性和可靠性。经激光干涉仪标定补偿，可以轻易获得好的定位精度。