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FlexSEM1000紧凑型扫描电镜是日立高新公司全新推出的一款机型小巧性能优异的钨灯丝电镜，拥有大束流和低球差的物镜和聚光镜设计，配备了高分辨率二次电子探头及高灵敏度五分割背散射探头，具有的低真空成像能量，并且采用全新的SEM MAP高精度导航系统及全的自动化功能，使性能更加优越，使用更加简便。
FlexSEM1000紧凑型扫描电镜特点
1.节能环保的设计
2.高效率的自动功能
3.简捷的操作界面
4.高分辨低真空观察
技术参数
| 分辨率 | 4.0nm（加速电压20kV，高真空模式，二次电子像） |
| 15.0nm（加速电压1kV，高真空模式，二次电子） | |
| 5.0nm（加速电压20kV，低真空模式，背散射电子像） |
| 放大倍率 | 底片倍率：6 – 300,000x |
| 显示器倍率：16 – 800,000x |
| 加速电压 | 0.3-20kV |
| 低真空可变压力范围 | 6-100Pa |
| 马达台 | 标配三轴自动马达 |
| 行程 | X： 0-40mm |
| Y： 0-50mm | |
| R： 360 ° | |
| Z： 5-15mm | |
| T： -15- 90° | |
| 电子光学系统 | 电子枪：预对中钨灯丝 |
| 信号检测系统：二次电子探测器；高灵敏度背散射探测器 |
| 真空系统 | 全自动阀门控制抽真空系统/涡轮分子泵：61L/S 1台 |
| 机械泵：100L/min 1台 | |
| 安全装置：带停电、漏电保护的真空保护功能 | |
| 操作辅助功能 | 电子束旋转；动态聚焦；画质优化功能 |
| 数据输入；2点间测量、角度测量、文字；预设倍率； | |
| 样品台位置导航功能（SEM MAP)；电子束标记 |
