技术指标
· 流量范围:5SCCM到10SLPM N2
· 响应时间:1~2秒
· 精度和线性:±1%满量程
· 重复性:±0.2%满量程
· 量程比:50:1(2%-*满量程)(精度和控制)
· 环境和操作工作温度:-10 ~70℃(+14-158℉)
· 温度漂移:±0.05%满量程/℃(零点)
±0.05%读数/℃(量程)
· 压力漂移:±0.1%/atm(相对于N2)
·设定点输入/流量信号输出:4-20mA/4-20mA(源)(200-750负载电阻,15-30Vdc环路电压)
·供应电源:(3211和3271型,消耗电流﹤45mAdc;3201&3261型,消耗电流﹤250mAdc:+15(±5%)或+24(±15%)Vdc
·安装方向:对位置不敏感
·预热时间:10分钟
·电气连接:10英尺,22AWG,8针电源电缆
·入口和出口过程连接:阀组安装(3261和3271型)或者卡套或金属垫圈表面密封(3201&3211)
主体:316SS
传感器组件:316SS
孔:316SS
阀构成部件(接液) :302SS,316SS,430FSS,Sandvik®1802(MC)
过程连接(仅3201和3211型) :316SS