普发 Pfeiffer 推出 OmniGrade 定制残余气体分析系统
近日上海伯东德国 Pfeiffer 推出 新产品OmniGrade 定制残余气体分析系统, 用于复杂残余气体测量, 进行纯度测试. OmniGrade 在高真空条件下使用质谱法正确测定脱气率. 避免由于分子污染导致的影响, 达到更高水平的清洁度. OmniGrade 的上市, 扩展了德国 Pfeifffer 残余气体分析的产品组合, 提供更高水平的价值创造, 从而增加客户的利益.
OmniGrade 残余气体分析应用领域
半导体生产中的 EUV 光刻
电子显微镜
超高真空 UHV 中的应用
OmniGrade 残余气体分析系统基于模块化原理, 可满足各种测试要求
上海伯东德国 Pfeiffer 根据每个测试要求提供量身定制的分析系统, 满足客户所需精度的测试结果. 残余分析系统采用全系列的德国 Pfeiffer 产品, 比如四极杆质谱仪, 真空泵, 腔室和其他组件.
四极杆质谱仪 (PrismaPro 或 HiQuad ) 的选择和腔室数量的确定对可实现的检测限有显著影响. 在标准系统中有两个腔室, 一个放置测试样品, 另一个放置光谱仪. 如果需要, 该结构可以补充第三个腔室. 即闸室. 这避免了测量腔室受到环境污染并显著减少了表面积. 通过烘烤系统, 可以对其进行调节, 从而进一步提高测量能力.
OmniGrade 残余气体分析系统配置
三腔室系统 | 二腔室系统 | |
参考图片 | ||
分析目的 | 低放气率小零件的分析 | 中型零件测试 |
腔室尺寸 | DN 160/250 | 750 x 750 x 750 mm |
测量设计 | With Load Lock | Without Load Lock |
分子泵 | 全磁浮或者复合轴承 | 全磁浮或者复合轴承 |
质谱分析仪 | HiQuador 或PrismaPro | HiQuador 或PrismaPro |
密封闸阀 | 金属 | 金属或氟橡胶 |
校准 | 手动或自动 | |
洁净室兼容 | 可选 | |
温度控制系统 | 主动或被动 |
OmniGrade 残余气体分析系统特点
使用模块化系统根据您的需求定制执行
检测限低
全自动测量过程
根据 ASML的清洁度等级 GSA 07 1221 和 GSA 07 2221 进行测试
上海伯东累计多年真空经验, 提供各类定制真空系统, 例如氦质谱检漏系统, 真空计校准系统, 残余气体分析系统等, 满足半导体, 工业, 科研各个领域的需求.
若您需要进一步的了解残余气体分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗小姐
- 凡本网注明"来源:智能制造网 "的所有作品,版权均属于智能制造网 ,转载请必须注明智能制造网 ,https://www.gkzhan.com。违反者本网将追究相关法律责任。
- 企业发布的公司新闻、技术文章、资料下载等内容,如涉及侵权、违规遭投诉的,一律由发布企业自行承担责任,本网有权删除内容并追溯责任。
- 本网转载并注明自其它来源的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品来源,并自负版权等法律责任。
- 如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。
- 01IPG推出全自动激光焊接与清洗机器人
不论制造商是否具备协作机器人或激光加工经验,该系统都能提供交钥匙式的解决方案,确保安装[详细]
- 02Lightium斩获290万美元,加速商业化数
Lightium的目标是在2024年第四季度开放其代工服务的测试版,其功能从快速原型制作到批量生产[详细]
- 03溢价收购!海信集团进军光伏
海信网能收购科林电气并非“一时冲动”,而是经过数月甚至更长时间的筹划,才正式向科林电气[详细]
- 04家里有矿躺赚22亿,为何还要并购储能公
永泰能源打算通过并购储能公司,正积极推进储能产业的发展,以实现公司的绿色低碳和高质量发[详细]
- 05Waymo宣布每周完成5万次付费机器人出租
50000次周乘车量意味着每小时约300次预订,每分钟5次,这一运营规模已颇为可观。可以预见,[详细]
- 06兰石重装获激光通盘实验装置专利
激光通盘试验装置及使用方法,属于容器制造的筒体检验领域,解决了现有技术操作不便、精准度[详细]
- 079项!中国国际经合促进会下达今年第十七批标准计划项目
近日,中国国际经济技术合作促进会下达2024年度第十七批(共9项)团体标准计划项目的通知。[详细]
- 08全国最长单洞双线铁路隧道川青铁路德胜
德胜隧道施工中极易发生隧道大变形、溜坍、涌泥、突水等问题,安全风险极高,被业内专家称为[详细]
- 01固态电池装车,现实还是梦想?
2024年将是固态电池产业发展的一个重要节点,年内有望实现(半)固态电池的大规模装载应用,预[详细]
- 02到2033年底,蜂窝物联网连接将达到75亿
蜂窝物联网连接将从2023年底的19亿增加到未来十年的75亿,但指出只有11亿将使用它所认为的完[详细]
- 03丰田美国电池厂计划明年投产
这是一项庞大的工程,也是丰田在单一地区进行的最大规模投资,目前多座建筑处于不同的完工阶[详细]
- 04外媒称Arm将设立AI芯片部门 力争2025年
从外媒最新的报道来看,Arm将设立一个人工智能芯片部门,目标是在2025年春季打造出一款原型[详细]
- 05304.2亿!从自动化领域企业年报看自动化仪表行业发展前景
近段时间以来,不少自动化领域上市企业公布了2023年度报告。过去一年,全球经济形势复杂多变[详细]
- 06人形机器人的尽头是“打工人”?行业掀
现如今,人形机器人也开启“打工人”生涯了。前几日,特斯拉表示,其人形机器人擎天柱(Optim[详细]
- 07通用人工智能将如何重塑未来?2030年市
通用人工智能(AGI)在重塑我们生活的几乎每个领域中都发挥着关键作用,因为它为我们社会的每[详细]
- 08TüV莱茵广东公司新能源部件检测中心全面启动!
未来,TüV莱茵广东公司新能源部件检测中心将与深圳的大湾区(深圳)运营中心、江苏太仓的长三[详细]
- 01四大亮点抢先看!2024第十九届中国上海
上海国际展将于2024年07月18-20日,在上海汽车会展中心举办,金浪会展作为新能源电池领域专[详细]
- 02创维汽车与沙特皇室KAG集团签订100亿战
此次其与创维汽车签署的十年战略分为两个阶段,第一阶段前五年合作业务规划100亿人民币,第[详细]
- 03到2028年,飞行模拟器市场将达到80亿美
飞行模拟器市场规模在2023年的收入价值为63.3亿美元,预计到2028年将达到82.3亿美元,预测期[详细]
- 04千亿换电市场迎来春天:加快布局定标准
相较于充电,换电属于重资产运营,换电站建造成本偏高。市场主流的中、小型换电站的固定建造[详细]
- 05IDC最新报告:中国车企拥抱公有云,阿
据国际数据公司(IDC)最新发布的《中国汽车云市场(2023下半年)跟踪》报告显示,中国汽车厂商[详细]
- 06突破!利用激光将太阳能电池板寿命延长
一直以来,太阳能电池板以其可回收性而备受赞誉。然而,制造过程中所使用的薄塑料层却带来了[详细]
- 07电子后视镜,真趋势还是伪需求?
在消费端却是另外一番景象,不少这个用户视野更广、夜间更清晰、不易受环境影响等优势的电子[详细]
- 08《深圳市海洋发展局关于推进海域使用立
本通知适用于深圳市人民政府审批的项目用海,在深圳市海域范围内可实施立体设权管理的用海包[详细]