5nm工艺起飞 ASML宣布全新半导体技术

2020-05-29 09:33:24来源：快科技关键词：半导体光刻机阅读量：24336

导读：提到荷兰ASML公司，大家都知道他们是仅有的EUV光刻机供应商，7nm及以下的工艺生产都要靠他们的设备。

　　提到荷兰ASML公司，大家都知道他们是仅有的EUV光刻机供应商，7nm及以下的工艺生产都要靠他们的设备。不过ASML不只是光刻机厉害，今天他们宣布了另外一个新产品——第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000，适用于5nm及更先进工艺，使得产能大涨600%。

　　随着制程工艺不断提升，晶圆的制造也越来越复杂，这也会导致晶圆中的错误更多，HMI eScan1000就是一套基于HMI多光束技术的检测系统，内部也有复杂的光电子系统，能够产生、控制多个电子束，然后根据反射回来的电子束成像来分析晶圆质量，并有高速运行的平台以控制测试的晶圆数量，还要有计算系统处理电子束的数据。

　　简单来说，ASML研发的这个HMI eScan1000机器就是一台验证先进工艺生产出来的晶圆质量的系统，工艺越先进，检测系统就越重要，它的检测精度、吞吐量决定了生产的效率。

　　ASML的HMI eScan1000的突破之处在于能够同时产生、控制九道电子束，所以产能提升了600%，可以大大减少晶圆质量分析所用的时间。

　　目前HMI eScan1000可以用于5nm及以下先进工艺的晶圆测试，已经交付给客户进行测试验证，未来ASML还会推出光束更多的测试设备以满足客户对先进工艺的要求。

　　原标题：5nm工艺起飞 ASML宣布全新半导体技术：产能大涨600%

上一篇：苹果再度完成收购这次还是为了智能语音助手

下一篇：亿航智能获民航局颁发自动驾驶飞行器物流试运行许可

我要评论

昵称

匿名

文明上网，理性发言。（您还可以输入200个字符)

表情

所有评论仅代表网友意见，与本站立场无关。

砸开核桃造“芯片”！“六个核桃”母公司16亿杀入半导体
4月26日晚间，河北上市公司养元饮品发布公告，拟出资16亿元对位于武汉的全球半导体企业长江存储进行增资。本次交易完成后，养元饮品将间接控制长江存储0.99%的股份。
养元饮品半导体长江存储
2025-04-27 10:54:24
Gartner：2024年前十大半导体厂商，英伟达首超三星电子和英特尔
前十大半导体厂商收入排名变动的主要原因在于强劲的AI基础设施需求以及73.4%的内存收入增长。英伟达之所以能够跃至首位，主要在于其独立图形处理单元(GPU)需求显著增长，GPU已成为数据中心AI工作负载的首选。
半导体
2025-04-25 14:44:22
800吉字节/秒！新型光电子芯片能效和带宽创纪录
创新型三维光电子芯片拥有高达800吉字节/秒的超高速数据传输带宽，并且每传输1比特数据，仅消耗120飞焦耳的能量，展现出卓越的能效表现。
新型光电子芯片半导体
2025-03-26 13:28:27
能生产3nm！中科院成功研发全固态DUV光源技术：完全不同于ASML
中科院的固态DUV激光技术完全基于固态设计，由自制的Yb:YAG晶体放大器生成1030nm的激光，在通过两条不同的光学路径进行波长转换。
全固态DUV光源技术光刻机
2025-03-26 10:11:44
北方华创战略入股芯源微：中国半导体设备产业整合迈入新纪元
此次交易不仅是两家龙头企业资源的深度整合,更标志着中国半导体设备行业从“单点突破”向“全产业链协同”的战略转型。
半导体先进制造集成电路
2025-03-12 14:16:15
Intel宣布世界最先进光刻机投产！晶圆生产效率/可靠性翻倍
Intel宣布，ASML首批两台高数值孔径（High-NA EUV）极紫光刻机已经在其工厂投入生产。据悉，Intel利用先进光刻机已在一季内生产3万片晶圆，这些晶圆可以产出数千颗计算芯片。
Intel光刻机晶圆生产
2025-02-26 14:35:24

版权与免责声明：

凡本站注明“来源：智能制造网”的所有作品，均为浙江兴旺宝明通网络有限公司-智能制造网合法拥有版权或有权使用的作品，未经本站授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的，应在授权范围内使用，并注明“来源：智能制造网”。违反上述声明者，本站将追究其相关法律责任。

本站转载并注明自其它来源（非智能制造网）的作品，目的在于传递更多信息，并不代表本站赞同其观点或和对其真实性负责，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。如其他媒体、平台或个人从本站转载时，必须保留本站注明的作品第一来源，并自负版权等法律责任。如擅自篡改为“稿件来源：智能制造网”，本站将依法追究责任。

鉴于本站稿件来源广泛、数量较多，如涉及作品内容、版权等问题，请与本站联系并提供相关证明材料：联系电话：0571-89719789；邮箱：1271141964@qq.com。