SK海力士开始量产采用EUV技术的第四代10纳米（1a）级DRAM

2021-07-12 13:59:44来源：TechWeb 关键词：DRAM 半导体设备阅读量：24688

导读：半导体产业发展状况，已引起国内外人士普遍关注。

　　2021年，半导体产业发展迈入了新的时期。SK海力士宣布已于7月初开始量产适用第四代10纳米(1a)级工艺的 8Gigabit(Gb)LPDDR4移动端DRAM产品。

　　* LPDDR4(Low Power Double Data Rate 4)–专为移动终端开发的低功耗DRAM规格。“DDR”为电子工程设计发展联合协会(Joint Electron Device Engineering Council，简称JEDEC)规定的DRAM规格标准名称，DDR1-2-3-4为其顺序进行换代。

　　自从10纳米级DRAM产品开始，半导体业内将每一代工艺节点都以标注英文字母的方式起名，此次SK海力士量产的1a纳米级工艺是继1x(第一代)、1y(第二代)、1z(第三代)之后的第四代工艺节点。公司预计从下半年开始向智能手机厂商供应适用1a纳米级技术的移动端DRAM。

　　此次量产的产品是SK海力士首次采用EUV技术进行量产的DRAM，其意义非凡。SK海力士在此前生产1y纳米级产品过程中曾部分采用了EUV技术，事先完成了对其稳定性的验证。

　　* EUV(Extreme Ultraviolet)：指利用极紫外线的光刻设备

　　工艺的极度细微化趋势使半导体厂商陆续导入EUV设备，并将其投入在晶圆上绘制电路的光刻工艺当中。业界认为采用EUV技术的水平将成为今后决定技术重要地位的重要因素。SK海力士通过此次量产确保了EUV工艺技术的稳定性，并表示未来的1a纳米级DRAM都将采用EUV工艺进行生产。

　　SK海力士期待通过新产品生产效率的提升得以确保更高的成本竞争力。相较前一代1z纳米级工艺的同样规格产品，1a纳米级DRAM在每一张晶圆中可产出的产品数量约提高了25%。在今年全球DRAM需求持续增长的背景下，公司期待1a纳米级DRAM在全球存储半导体供需中扮演重要角色。

　　此次新产品稳定支持LPDDR4移动端DRAM规格的最高速度(4266Mbps)，并相较前一代产品其功耗也降低了约20%。SK海力士认为此次新产品进一步强化了低功耗的优势，助力碳排放量的减少，充分体现了SK海力士注重ESG(环境、社会、公司治理)经营的精神理念。

　　在本次LPDDR4产品之后，SK海力士还计划从明年初开始将1a纳米级工艺导入于去年十月推出的全球首款DDR5 DRAM。

　　SK海力士1a纳米级DRAM领导小组(Task Force)的曹永万副社长表示：“此次量产的1a纳米级DRAM在生产效率和成本竞争力层面都有改善，从而可以期待更高的盈利。通过将EUV技术全面导入量产程序，SK海力士有望进一步巩固推动前沿技术的高新企业地位。”

　　(原标题：SK海力士开始量产采用EUV技术的第四代10纳米(1a)级DRAM)

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