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ASML DUV光刻机有多快?12秒完成一整片晶圆

2021-08-23 08:53:39来源：快科技关键词：光刻机半导体设备阅读量：21882

导读：从制程工艺来看，DUV只能用于生产7nm及以上制程芯片。

　　作为芯片生产过程中最关键装备的光刻机，有着极高的技术壁垒，有“半导体工业皇冠上的明珠”之称，代表着人类文明的智慧结晶。

　　在在芯片这样一个争分夺秒的行业里，时间就是金钱。

　　据ASML官方介绍，ASML也一直在追求光刻机较快的速度，目前前沿的DUV光刻机，每小时可以完成300片晶圆的光刻生产。

　　这是一个什么概念呢？

　　我们来换算一下，完成一整片晶圆只需要12秒，这还得扣除掉晶圆交换和定位的时间，实际光刻时间要更短。

　　而一片晶圆的光刻过程，需要在晶圆上近100个不同的位置成像电路图案，所以完成1个影像单元(Field)的曝光成像也就约0.1秒。

　　要实现这个成像速度，晶圆平台在以高达7g的加速度高速移动。7g加速度是什么概念呢？F1赛车从0到100km/h加速约需要2.5秒，而晶圆平台的7g的加速度，若从0加速到100km/h只要约0.4秒。

　　DUV是深紫外线(Deep Ultraviolet Lithography)，EUV是极深紫外线(Extreme Ultraviolet Lithography)。

　　从制程工艺来看，DUV只能用于生产7nm及以上制程芯片。而只有EUV能满足7nm晶圆制造，并且还可以向5nm、3nm继续延伸。

　　(原标题：ASML DUV光刻机有多快？加速度高达7g、12秒完成一整片晶圆)

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