消息称台积电亚利桑那州工厂已开始安装首台EUV光刻机

2023-08-23 09:54:10来源：TechWeb.com.cn 关键词：EUV光刻机晶圆代工阅读量：23315

导读：EUV光刻机是5nm、4nm、3nm等先进制程工艺必不可少的设备，对晶圆代工至关重要。

　　8月22日消息，据外媒报道，台积电2020年5月份宣布投资120亿美元在美国亚利桑那州建设的首座晶圆厂，已开始安装首台EUV光刻机。

　　不过，外媒在报道中也提到，台积电亚利桑那州的工厂，目前仍需要大量的工人安装精密的设备，还需要2000名员工。

　　台积电是在2020年的5月15日，宣布在亚利桑那州建设晶圆厂的。计划2021年开始建设，目标是2024年投产，当时是计划建成之后采用5nm制程工艺为相关的客户代工晶圆，月产能20000片晶圆，预计2021年-2029年投资120亿美元。

　　而在去年的12月6日，台积电宣布亚利桑那州工厂将升级到4nm制程工艺，并开始建设第二座晶圆厂，建成之后采用3nm制程工艺为相关的客户代工晶圆，两座晶圆厂的投资将接近400亿美元。

　　就动工的时间来看，已开始安装首台EUV光刻机的，是台积电在亚利桑那州的首座工厂，也就是2020年5月份宣布建设的那一座晶圆厂。

　　EUV光刻机是5nm、4nm、3nm等先进制程工艺必不可少的设备，对晶圆代工至关重要，当前仅阿斯麦能制造，台积电也已从阿斯麦采购了大量的EUV光刻机，未来还需要大量采购，用于3nm、2nm等制程工艺的代工。

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