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ABL9000Aerotech ABL9000
- 公司名称：
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- 北京微纳通科技有限公司
- 2017-07-29 21:53:25
- 深圳市
- USA
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【简单介绍】
1世上Z高性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合
2所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
3行程达1.2米X1.2米
4Y轴双直线电机驱动
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6主动控制偏转
行程≤1200mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.10um
直线度±0.50um
平面度±0.50u
【详细说明】
ABL9000气浮平台
1世上zui高性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合
2所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
3行程达1.2米X1.2米
4Y轴双直线电机驱动
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6主动控制偏转
行程≤1200mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.10um
直线度±0.50um
平面度±0.50um
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AHL9000直线电机平台
1专为晶片检测，平板显示加工和光学检测及制造应用设计
2扫描轴是空气轴承，步进轴是机械轴承
3行程达1.2米X1.2米
4双直线电机驱动步进轴
5直线编码器或激光干涉仪反馈
行程≤350mm
精度±1.0um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.60um
平面度±0.60um
