Aerotech精密平台

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ANT95-L系列纳米平移台1.实现大行程纳米定位

2.高分辨率（1纳米），重复定位精度（75纳米），定位精度（250纳米）

3.1纳米的位置稳定性

4.抗爬行十字交叉滚珠轴承

5.高动态特性

ANT95-XY系列双轴纳米平移台1.结构紧凑25mm*25mm或50mm*50mm行程

2.实现大行程纳米定位

3.高分辨率（1纳米），重复定位精度（75纳米），定位精度（250纳米）

4.1纳米的位置稳定性

5.抗爬行十字交叉滚珠轴承

6.高动态特性

ANT130-L-Z系列纳米垂直平移台1.大行程实现纳米定位

2.高分辨率（2纳米），重复定位精度（75纳米），定位精度（300纳米）

3.2纳米的位置稳定性

4.抗爬行十字交叉滚珠轴承

5.高动态特性

ALS1000 直线电机平台

1.直驱直线马达实现超精密运动

2.长寿命直线运动导轨系统

3.2轴内部电缆管理系统

4.可选气体净化的密封设计

5.低成本，占地面小，高性能

行程450mm

精度±1.0um

负载50.0kg

ALS5000 直线电机平台

1.适合恶劣环境

2.坚.台面和导轨罩

3.*整合电缆管理系统

4.高精度，非接触式直线编码器（光栅尺）

5.可选气体净化的密封设计

行程1000mm

精度±1.0um

负载135.0kg

ALS5000WB 直线电机平台

1.宽底座可以承受较大的偏移负载

2.强大的双直线电机驱动

3.坚硬涂层台面和导轨罩

4.*整合电缆管理系统

5.可选气体净化的密封设计

行程1000mm

精度±1.0um

负载135.0kg

ALS20000 直线电机平台

1.保护金属导轨罩

2.完整的电缆管理系统

3.洁净空间应用的理想选择

4.紧凑的结构，高性能，直线电机平台

5.成像和扫描应用中具有优良的速度控制性能,适合成像和扫描应用

行程600mm

精度±1.0um

负载70.0kg

ALS25000 直线电机平台

1.防护金属导轨罩和侧面封闭可以适应恶劣的环境

2.完整的电缆管理系统

3.高性能直驱直线电机实现优良的伺服性能

4.紧凑结构以适应有限空间的应用需求

行程600mm

精度±1.0um

负载70.0kg