STK-6150 落地式高级自动晶圆减薄贴膜机 特点： |
8"-12"晶圆适用 |
设计的滚轮贴膜 |
自动胶膜进给及贴膜 |
手动晶圆上下料 |
自动切割胶膜，省力 |
蓝膜、UV 胶膜可选 |
PLC+触摸屏 |
配置光帘保护功能，和紧急停机按钮 |
三色灯塔和蜂鸣器用于操作状态监控 |
如需详细资料，请联系我们。
STK-6150 落地式高级自动晶圆减薄贴膜机 规格参数： |
晶圆尺寸 | 8"-12"晶圆 |
晶圆厚度 | 100～750微米 |
晶圆种类 | 硅, 砷化镓或其它 单平边,双平边,V型缺口 |
胶膜种类 | 蓝膜或者UV膜 |
贴膜方法 | 滚轮贴膜 |
晶圆台盘 | 接触式晶圆台盘 |
晶圆台盘 | 通用(一体式)特氟隆防静电涂层接触式台盘;或硅胶台盘;或陶瓷台盘 |
晶圆台盘加热 | MAX可达 120℃ (对应接触式台盘，可 选) |
晶圆放置精度 | X-Y: +/- 0.5 毫米； Θ : +/- 0.5° |
装卸方式 | 手动晶圆放置与取出；晶圆在位置检测 |
防静电控制 | 去离子风扇 |
切割系统 | 自动刀 |
控制单元 | 基于 PLC 控制，10.4"触摸屏 |
电源电压 | 单相交流电220V,10A |
压缩空气 | 60 PSI 清洁干燥压缩空气,流量每分钟 2.5 立方英尺 |
灯塔 | 三色灯塔和蜂鸣器，用于操作状态监测 |
安全 | 配置安全光帘和紧急停机开关 |
体积 | 950 毫米(宽)*1300 毫米(深)*1800 毫米(高) |
净重 | 300 公斤 |
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