| 规格参数 | 单位 | |
| 1直线度 | μm | ±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm |
| 1平面度 | ±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm | |
| 重复精度（1μm分辨率） | ±3 （40μm光栅栅距） | |
| 重复精度（0.5μm分辨率） | ±1.5 （20μm光栅栅距） | |
| 重复精度（0.1μm分辨率） | ±1 （20μm光栅栅距） | |
| 重复精度（模拟量） | ±5 counts | |
| X-Y正交性 | Arc-sec | 10 |
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