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EFM 3i赫尔纳供应德国focus蒸发器EFM 3s
参考价: 15200
订货量: 1
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访问次数:129更新时间:2024-06-11 15:32:22

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赫尔纳供应德国focus蒸发器EFM 3s focus蒸发器EFM4具有与 EFM3相同的特性,但是用于在直径大约50毫米的衬底上沉积。三个不同的出口孔可以使蒸发面积准确地适应样品的大小。
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赫尔纳供应德国focus蒸发器EFM 3s

赫尔纳供应德国focus蒸发器EFM 3s

赫尔纳贸易优势供应,德国总部直接采购,近30年进口工业品经验,原装产品,为您提供一对一好的解决方案货期稳定

公司简介:

"聚焦""聚焦"电子公司作为公司和拥有者的德国公司正在合作。焦点 位于哈丁斯坦,距离法兰克福机场仅30分钟车程。聚焦电子 其设施位于工业化的东德核心之一莱比锡市。

focus蒸发器主要产品:

focus蒸发器

focus离子源

focus蒸发器产品型号:

EFM 3i

EFM 3s

EFM 4

focus蒸发器产品特点:

EFM3EFM3的基础上增加了一个额外的电极。在 EFM 系列的产品中,蒸发束的一部分在加热过程中被电子轰击电离。这些离子被通量监测电极捕获。

focus蒸发器产品应用:

focus蒸发器由于蒸发剂相对于接地样品处于高电压下,剩余的离子可能在基体表面产生缺陷并沉积能量。为了产生中性束,在 EFM3s 的抑制电极上施加一个额外的电压。focus蒸发器附加电压由 EVC 300EVC 100供电。

focus蒸发器EFM3i 是设计来促进层层增长的情况下,它不会自然发生。它允许控制目标材料的蒸发,并同时产生离子,造成额外的表面缺陷(离子束辅助沉积,IBAD)focus蒸发器这些离子可以通过蒸发靶材的固有过程产生,也可以通过集成气体入口的帮助从惰性气体中产生。离子通过静电透镜聚焦到基片上。focus蒸发器这种聚焦透镜可以调节目标沉积区域内离子与中性粒子的比例,从而诱导额外的缺陷密度。另外敏感的衬底材料可以通过排斥透镜电压来防止离子轰击(参见 EFM3s)。用的 EVC 300i 电源不支持蒸发过程,还提供额外的透镜电压,包括一个样品电流表。

focus蒸发器EFM4具有与 EFM3相同的特性,但是用于在直径大约50毫米的衬底上沉积。三个不同的出口孔可以使蒸发面积准确地适应样品的大小。通过选择适当的坩埚和电子束功率,可以实现蒸发速率从每分钟1/10单层到每秒1000多单层不等。focus蒸发器EFM 4适用于达700毫米3的坩埚容量。有效的水冷却了低背景压力(通常在10-10毫巴范围内) ,使在高蒸发温度下长时间运行。由于大的蒸发面积的目标是运行的 EFM4EVC300电源是合适的配置。

focus蒸发器基于 EFM3蒸发器的设计理念,三重蒸发器 EFM3T 具有三个独立的单元,用于蒸发来自电线、电杆或坩埚的各种材料。focus蒸发器这三个单独的电池在距离出口孔约93毫米处(距安装法兰254毫米)有交叉梁,以蒸发区域的大重叠。每个电池配备有单独的灯丝和高压电源,以防止串扰。三个独立的通量监测器能够控制化合物的化学计量生长。整体多位置快门使剂量和同时或连续蒸发产生例如格子或多层。focus蒸发器通过可选的快门机动化和 PC 软件工具 Multi Epitass 完成。沉积区域由三个孔中的一个孔的选择决定。三个蒸发目标是独立地安装在三个25毫米 Z 偏移对准。这一功能允许蒸发棒与多口袋仪器。focus蒸发器目标材料可以很容易地从后方(3xNW16CF)填充。一个电源可以顺序地操作所有三个单元。在共同蒸发的情况下,每种材料都需要一个单独的电源。




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