具体成交价以合同协议为准
AL120-L8/AL120-L86/AL120-L68寸奥林巴斯晶圆检查系统AL120-L8
￥面议
苏州工业园区汇光科技有限公司
免费会员·6年您现在的位置： 苏州工业园区汇光科技有限公司>>晶圆检查系统显微镜>> AL120-LMB12-LP/AL120-LMB12-F12寸奥林巴斯晶圆检查系统AL120-LMB12-LP/AL120-LMB12-F
产品介绍
AL120-12奥林巴斯晶圆检查系统对应可使用FOUP（装载口）和FOSB，常用于低成本的后期检查。12寸奥林巴斯晶圆检查系统安全且符合人体工程学的设计，确保了操作人员在搬送晶圆时（包括薄晶圆和变形晶圆）的效率和安全。
12寸奥林巴斯晶圆检查系统主要特性：
●坚固、可靠和安全传送
12寸奥林巴斯晶圆检查系统延续了上一代机型的坚固性、可靠性和安全性，能够安全可靠的传送300 mm晶圆，且薄片，Warped晶圆也能安全搬送。
●人机工程学设计，操作方便
12寸奥林巴斯晶圆检查系统可以自由设置的检查模式，在设计上考虑了后道工程中的操作性，尤为重视设备的操作简便性。分别对应FOUP(Load Port）和FOSB的两种机型。
12寸奥林巴斯晶圆检查系统宏观观察位置的化和操作单元的集中排列，提高了设备的操作性。
自动300 mm晶圆检查系统 AL120-12 技术规格
型号 | AL120-LMB12-LP | AL120-LMB12-F |
晶圆尺寸 | 300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可选：200 mm | |
卡盒数 | 单盒（装载、卸载兼用） | |
卡盒设置高度 | 900 mm | |
装载端口 | 有 | 无 |
搬运顺序 | 表面宏、内面宏、显微镜检查 | |
检查模式 | 全部检查、抽样检查 | |
晶圆校准 | 非接触式中心环 | |
晶圆搬运方式 | 真空吸附机械搬运 | |
适用显微镜 | 半导体检查显微镜MX61L | |
应用环境 | AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz ，真空-67～-80 Kpa | |
载物台 | XY手动吸附载物台，有XY粗调／微调和360度旋转机构 | |
重量（不包括显微镜） | 约360 kg | 约270 kg |
