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80L等离子刻蚀机（价格面议）
a00180L等离子刻蚀机（价格面议）
参考价: 面议
具体成交价以合同协议为准
  • a001 产品型号
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  • 东莞市 所在地

访问次数：396更新时间：2019-06-24 10:55:04

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产品简介
等离子清洗机的机理是依靠处于“等离子态"的物质的“活化作用"达到去除物体表面污渍的目的。从目前各类清洗方法来看，等离子体清洗也是所有清洗方法中较为*的剥离式的清洗。可以应用于半导体、微电子、COG前、LED制程、器件封装前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗，塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。
产品介绍

在真空状态下， 利用射频辐射视得氢气， 氧气， 氮气，等气体生成具有高反应活性的等离子于气体反应形成挥发性化合物， 然后由真空系统将这些物质清除出去 等离子体刻蚀机，应用刻蚀硅片边缘的硅鳞层，扩散过程中， 不但硅片的表面扩散上了鳞，硅片边缘也扩散上了鳞，这会导致硅片正反两极通过边缘导通短路，所以必须将硅片边缘这层被扩散的 硅鳞去掉，大概去掉1到3个微米， 硅片在刻蚀机内水平选装， 通入的反应气体为四氟化碳，氧气和氮气，其原理是在放电状态下反应气体四氟化碳， 氧气， 和硅片边缘的规划和物发生反应， 生成硅， 反应形成粉末和气态物质后随气流一起被抽走

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