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详细介绍
化学气相沉积炉产品规格:
产品型号/规格W×H×L(mm) | 600*600*1000 | 800*800*1200 | 1000*1000*1500 | 1200*1200*2500 | 1500*1500*3000 | 2500*2000*3600 |
装载重量(KG) | 350 | 800 | 1500 | 2500 | 5000 | 10000 |
温度(℃) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
温度均匀性(℃) | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±15 |
加热功率(kw) | 250 | 360 | 480 | 600 | 900 | 1200 |
极限真空度(Pa) | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 |
压升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
以上化学气相沉积炉参数可以根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。 | ||||||
化学气相沉积炉主要配置：
炉门：丝杠升降//液压升降/手动升降；手动锁紧/自动锁圈锁紧
炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC
加热器：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
工艺气路系统：体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进口/国产
真空泵和真空计---进口/国产PLC：欧姆龙/西门子
控温仪表：日本岛电/英国欧陆
热电偶：C分度号/S分度号/K分度号/N分度号
记录仪：无纸记录仪/有纸记录仪；进口/国产
人机界面：模拟屏/触摸屏/工控机
电器元件：正泰/施耐德/西门子
料车：滚道式/叉车式/叠加式超长传输料车
化学气相沉积炉技术特征：
本化学气相沉积炉大工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m，能满足超大型工件化学气相沉积处理需求；
本化学气相沉积炉采用多温区独立控温，温度均匀性好；
本化学气相沉积炉采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
本化学气相沉积炉采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
本化学气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。
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