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苏州智德自动控制有限公司
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精密气浮UPAS超精密气浮平台
特 性 Specification
超高精密：分辨率10nm,重复精度50nm,定位精度：100nm
超稳定性：花岗石机台，气浮导轨，直线电机驱动，匀速段速度波动低于0.05%
高动态性：高加速度，高响应，*平稳运行，同时保持**的稳定性
应 用 Application
半导体制造、激光成像、平板显示器制造、激光切割、精密测量等高精度定位的场合
特 性 Specification
超高精密：分辨率10nm,重复精度50nm,定位精度：100nm
超稳定性：花岗石机台，气浮导轨，直线电机驱动，匀速段速度波动低于0.05%
高动态性：高加速度，高响应，*平稳运行，同时保持**的稳定性
精密气浮大理石科研实验平台
应 用 Application
半导体制造、激光成像、平板显示器制造、激光切割、精密测量等高精度定位的场合
尺 寸 及 技 术 参 数
| 规格 | UPAS-2-D-IR-0200-0200-10 | ||
| 行程（mm） | X200 ,Y1,Y2 200,R360º | 直线度(μm） | X2,Y2 |
| 重复精度(nm) | X±50,Y±50(分辨率10nm) | X-Y垂直度（arc-sec） | ±3 |
| R轴重复精度(acr-sec) | ±2.5 | 额定负载(kg) | 8（MAX30） |
| 大加速度(m/s²) | X9.8, Y9.8 | X动负载（kg） | 6.78 |
| 匀速速度(mm/s) | 280 | Y动负载（kg） | 37.09 |
| 匀速段长度(mm) | X182 Y182 | 总质量（kg） | 102.6 |
| 工作周期(ms) | X800 Y800 | 外观 | 黑色阳极 |
| 导轨类型 | 气浮 | 基座材质 | 花岗石 |
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