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*真空清扫系统电子半导体车间

*真空清扫系统的工作原理

集尘系统运行时，粉尘有效地被控制进入到真空管网内部，在真空负压的作用下，被吸进的粉尘随气流沿着负压管路被抽入吸尘主机内部，首先被离心分离装置分离落入机器下方的垃圾桶内，只有少量密度极*尘随气流继续向上运动，在过滤室被过滤器分离，清洁的空气由真空吸尘机排风出口经消音装置排入空气中。过滤器上的粉尘是通过机器上的自动脉冲反吹装置定时反吹交替工作来完成的。

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*真空清扫系统理论计算

管网末端真空软管内径取Φ50mm,按系统同时打开2个吸口进行计算。根据粉尘材料的比重及灰尘的尺寸，经计算得知， 粉尘材料在管路内部的zui低流速不小于v=20m/s。经设计计算得知，系统2个吸口同时工作时所需要的zui小设备风量应为Q≥272m3/h，考虑偏离量总风量不少于300m3/h.

根据*集尘管网系统设计原则和计算方法，集尘系统的zui大阻力为Pmax=2200mmH2O,

风机入口负压-22KPa时，风机入口流量为380m3/h.

经查设备性能曲线知，选择我厂生产的SINOVAC  CVP系列型号CVP280的真空工业吸尘主机是比较经济合理的，其性能曲线符合系统实际工况的需要。

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