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【晶圆减薄】AMSEMI贴膜机ATW-12
AMSEMI晶圆减薄前贴膜机ATW-12规格参数:
晶圆尺寸 8”& 12”晶圆;
常规产品厚度 200~750微米;
Bump产品厚度 晶圆 200~400微米;
凸块 50~200微米;
晶圆翘曲 ≤5mm;
晶圆种类 硅, 砷化镓或其它;
单平边,V型缺口;
胶膜种类 蓝膜或者UV膜;
宽度:240~340毫米;
长度:100米;
厚度:0.05~0.2毫米;
贴膜原理 防静电滚轮贴膜;
滚轮温度 室温~80摄氏度;
贴膜动作 自动拉膜和贴膜;
晶圆台盘 二合一特氟隆防静电涂层接触式台盘,或硅胶台盘台盘温度:室温~100℃;
装卸方式 晶圆手动放置与取出;
防静电控制 防静电特氟隆涂层晶圆台盘/防静电贴膜滚轮/除静电离子发生器;
晶圆定位 通用标线/弹簧销钉;
控制单元 基于PLC控制,并带5.7”触摸屏;
安全防护 配置紧急停机按钮;
电源电压 相交流电220V,10A;
压缩空气 5公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟2.5立方英尺;
机器外壳 白色喷塑金属外壳;
体积 680毫米(宽)*900毫米(深)*600毫米(高);
净重 85公斤;
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