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镀膜工艺气体分析仪 SPM 220
上海伯东德国普发 Pfeiffer 真空镀膜工艺监测器 SPM 220 为镀膜工艺的定性和定量气体分析提供了完美的解决方案. 搭配 HiPace 涡轮分子泵组和专门开发的镀膜工艺监测器离子源, 在高达 10-2 hPa 的压力下, 实现了精确到分钟的工艺气体分析. Pfeiffer 同时提供一个带有压差孔板法兰的型号供选择, 可以实现在高达 10 hPa 的压力范围里进行直接的工艺气体分析.
气体监测质谱 SPM 220
气体监测质谱 SPM 220
镀膜工艺气体分析仪 SPM 220 优势
用于瞬时过程监测的镀膜工艺监测器离子源
用于 H2, O2, H2O 和 CO2 的检测限
对测量结果的小化背景影响
提供压力高达 10 hPa 的压差型号
多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估
灵活集成的紧凑尺寸
通过各种数字和模拟输入和输出, 使系统集成方便而灵活
镀膜工艺气体分析仪 SPM 220 应用
半导体生产,玻璃镀膜, 薄膜太阳能电池发电,研发
镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220 组成：涡轮分子泵+四级杆质谱+离子源
镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220 优势：
镀膜工艺监测器离子源，适用于瞬时过程监测
对气体H2、O2、H2O 和 CO2 检测极限
对测量结果的小化背景影响
压力高达 10 hPa 的压差版本
多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估
紧凑设计，易于系统集成
通过各种数字和模拟输入和输出
Pfeiffer监测质谱 SPM 220 技术参数：
SPM 系统控制 | BRU 220 | |
电压 | 115-230 V | |
前级泵 | MVP 020-3 | |
四极控制 | QME 220 | |
带 SPM 离子源的分析仪 | QMA 220 | |
探测器 | C-SEM/Faraday | |
杆系统：材料 | 不锈钢 | |
杆系统：直径 | 6 mm | |
杆系统：长度 | 100 mm | |
检测极限（氩中）：二氧化碳 | < 100 ppb | |
检测极限（氩中）：氧气 | < 100 ppb | |
检测极限（氩中）：氮 | < 100 ppb | |
检测极限（氩中）：水 | < 3000 ppb | |
检测极限（氩中）：水蒸气 | < 500 ppb or < 6000 ppb | |
涡轮分子泵 | 带有 TC 110 RS 的 HiPace 80 | |
质量数 | 1-100 amu or 1-200 amu | |
过程压力至 | 1 hPa or 10 hPa or 8hPa | |
连接法兰（入口） | DN 40 CF-F | |
重量 | 13 kg | |
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 欢迎联络上海伯东 叶小姐,分机109
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