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天津万瑞品创科技有限公司
产品介绍: 产品类型:刀具测量仪产品型号:Z neox 5测量类型:图像、3D、3D膜厚、干涉相位对比匹配方式:全自动匹配
此款Z neox 5 3D刀具测量仪结合了高精度旋转模块和Z neox3D光学轮廓仪的*检测和分析功能在的位置上实现全自动地3D表面测量,并结合在一起,完成全表面的3D立测量。Zneox3D测量技术涵盖了广泛的尺度,包括轮廓变化(多焦面叠加技术)、亚纳米粗糙度(干涉测量技术)或需要更高横向分辨以及垂直分辨率(共聚焦技术)的临界尺寸。
测量原理 | 共聚焦、PSI、ePS、CSI、 Ai 多焦面叠加和薄膜 |
观察类型 | 明场、彩色、共聚焦、干涉相位对比 |
测量类型 | 图像、3D、3D膜厚、线轮廓和坐标 |
相机 | 5Mpx: 2448x2048 像素 (60 fps) |
台阶精度6 | 0.5% |
台阶重复性6 | 0.1% |
显示分辨率 | 0.001nm |
拼接张数 | 10x12(分辨率): 175x175(低分辨率)(500Mpx) |
共聚焦帧速 | 20 fps (5Mpx); 60 fps (1.2 Mpx) |
一般垂直扫描范围 | 线性平台: 40mm 范围;5nm 分辨率 |
精细垂直扫描范围 | 带有压电扫描器; 200μm范围;0.5nm分辨率 |
Z 测量范围 | PSI 20µm; CSI 10mm; 共聚焦和 Ai多焦面叠加 34mm |
XY 工作台范围 | 电动;154x154 mm |
LED光源 | 红色(630纳米); 绿色(530纳米); 蓝色(460纳米)和白色(575纳米) |
环形照明 | 绿色环形灯与 6 孔位鼻轮兼容 |
鼻轮 | 6 孔位全电动 |
样品反射率 | 0.05 % to |
样品重量 | 3Kg |
用户管理权限 | 管理员、主管、高级操作员、操作员 |
高阶分析软件选件 | SensoMAP,SensoPRO, SensoMATCH, SensoCOMP, Geomagic® |
功率 | 线电压100-240 V AC; 频率50/60 Hz单相 |
计算机 | 的INTEL处理器; 3840x2160像素分辨率 (4K) (27”) |
操作系统 | 64 位 Windows 10 操作系统 |
外观尺寸 长X宽X高 | 945 x 635 x 610 mm (37.2 x 25.0 x 24.0 英寸) |
重量11 | 77 千克( 170 磅) |
环境 | 温度 10ºC至 35ºC; 湿度<80%RH; 海拔<2000米 |
可以在的位置进行全自动3D 表面测量,并将所有测量结果组合在一起完成全表面的3D立体测量
系统可以在尖锐边缘和关键表面上提供完整的形状信息
neox 5旋转台允许样品沿相反方向定位以使整个表面可见
系统将获取单独的测量值,然后将自动合并它们以获得完整 的3D立体测量
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