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产品介绍
详情介绍：
产品详情
“VD-400"是减压室，在减压下施加抗蚀剂后干燥玻璃基板。
采用蝶阀可设定真空排气量。
采用蝶阀可设定真空排气量。
【主要规格】
○ 腔室：外形尺寸 400 mm x 400 mm 高度 103 mm（盖子关闭时）
内部尺寸 350 mm x 350 mm 高度 30 mm
○ 真空系统：极限真空度1Pa以下（无样品）
干泵250L/S
产品规格
○ 腔室：外形尺寸 400 mm x 400 mm 高度 103 mm（盖子关闭时）
内部尺寸 350 mm x 350 mm 高度 30 mm
○ 真空系统：达到真空度1Pa以下（无样品）
干泵250L/S
○ 减压方式：压力模式 达到设定压力时自动释放到大气中
时间模式 设定时间 减压时自动释放
○ 实用：3ΦAC200：干燥空气 0.4 至 0.6MPa：真空排气
○ 外形尺寸：（W）1000×（L）800mm×（H）1600mm
○ 实用：3ΦAC200：干燥空气 0.4 至 0.6MPa：真空排气
○ 外形尺寸：（W）1000×（L）800mm×（H）1600mm
○ 设备重量：约250Kg
* 以上项目可根据所需规格进行更改。
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