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RWS 单臂晶圆机器人
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访问次数：298更新时间：2022-06-17 10:30:54

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特征软硬件垂直整合优势，并且采用高精密，高刚性直驱马达，重复精度达0.02mm，回转半径小，空间使用率高
产品介绍

特征

软硬件垂直整合优势，并且采用高精密，高刚性直驱马达，重复精度达±0.02mm，回转半径小，空间使用率高。

 

应用

适用于半导体产业(晶圆取放)、光电产业(小型面板、小型太阳能板)、LED产业(蓝宝石基板、胶环)等取放设备。

 

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