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深圳市中图仪器股份有限公司
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| 台阶测量准确度 | 0.3% | 台阶测量重复性 | 0.08% 1σ |
|---|---|---|---|
| 形貌重复性 | 0.1nm | 粗糙度RMS重复性 | 0.005nm |
在同等放大倍率下，中图仪器W1光学轮廓仪的测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。它的双通道气浮隔振系统设计，既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气，在无外接气源的条件下也可稳定工作，可以有效隔绝地面传导的振动，同时内部隔振系统能够有效隔绝声波振动，确保仪器在车间也能正常工作。
中图仪器W1光学轮廓仪由照明光源系统，光学成像系统，垂直扫描系统以及数据处理系统构成。是以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数的光学测量仪器。
1）设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；
2）测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；
3）测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；
4）分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；
5）分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；
6）分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。
1、三维表面结构：粗糙度，波纹度，表面结构，缺陷分析，晶粒分析等；
2、二维图像分析：距离，半径，斜坡，格子图，轮廓线等；
3、表界面测量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；
4、薄膜和厚膜的台阶高度测量；
5、划痕形貌，摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量；
6、微电子表面分析和MEMS表征。
在同等放大倍率下，中图仪器W1光学轮廓仪的测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。它的双通道气浮隔振系统设计，既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气，在无外接气源的条件下也可稳定工作，可以有效隔绝地面传导的振动，同时内部隔振系统能够有效隔绝声波振动，确保仪器在车间也能正常工作。
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